Bronkhorst

Warum bieten thermische Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler entscheidende Vorteile in der Bilanzierung von Prozessen?

February 14, 2017 Chris King
Solarenergie

In vielen Forschungs- und Produktionsprozessen ist die Masse die wichtige Variable und nicht das Volumen. Nur mit genauer Kenntnis der absoluten Menge lassen sich Prozesse korrekt bilanzieren. Die Messung eines Volumenstroms ist nicht so zuverlässig wie die Massendurchflussmessung, weil Schwankungen von Druck oder Temperatur die Dichte und damit die thermodynamischen Eigenschaften des Mediums beeinflussen. 
 

Thermisches Massendurchflussprinzip

Im Gegensatz zu volumetrischen Durchflussmessgeräten wie variablen Flächenmeßgeräten oder Turbinenzählern sind thermische Massendurchflussmesser (MFM) und Massendurchflussregler (MFC) weniger anfällig gegen Temperatur- und Druckschwankungen des ankommenden Durchflusses. 

Der MFM / MFC ist in der Lage, direkt den Massenstrom zu messen. Anschließend wird über die hinterlegten thermodynamischen Daten der gemessene Durchfluss auf ein normiertes Volumen umgerechnet. Im Gegensatz hierzu benötigen Verfahren, die den Volumenstrom messen, separate Messungen für Temperatur und Druck, um daraus die Dichte und letztendlich den Massenstrom zu berechnen. Der MFM / MFC misst und steuert den Fluss auf molekularer Ebene und kann so eine extrem genaue, wiederholbare und zuverlässige Abgabe von Gas in den Prozess bereitstellen.

Ursprünglich, für die Halbleiterindustrie entwickelt, sind MFMs / MFCs heute weit verbreitet für Anwendungen in Forschungslaboratorien, Pilotanlagen und kontinuierlichen Prozessen. Die Vorteile der thermischen Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler im Bereich der Genauigkeit, selbst bei geringen Durchflüssen, die Wiederholgenauigkeit, die relative Unempfindlichkeit gegen Schwankungen der Vorlauftemperatur und des Eingangsdrucks und ein kompletter PID Regelkreis in einem kompakten Gehäuse haben dazu beigetragen, die Produktivität zu steigern und so die Kosten zu senken. 
 

Flüssigkeitstemperatur des Heizsensors

5 Vorteile thermischer Massendurchflussmessung und -regelung

  • Hohe Genauigkeit auch bei sehr kleinen Durchflüssen
  • Sehr gute Wiederholgenauigkeit
  • Relativ unempfindlich gegenüber Druck und Temperaturschwankungen im Vergleich zur volumetrischen Messung
  • Kosteneffizienz durch kompakte Bauweise mit integriertem PID-Regelkreis
  • Einfache Bilanzierung von Prozessen

Sie möchten mehr über thermische Massendurchflussmessung wissen? Thermisches Messprinzip. 
 


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