Bronkhorst

EL-PRESS Metal Sealed P-602CM (P2-control)

Metallgedichteter Nachdruckregler

  • Nachdruckregelung (regelt "P2")
  • Patentierte metallische Dichtungskonstruktion für langfristige Dichtheit (zur Atmosphäre)
  • Elektropolierte medienberührte Teile
  • im Reinraum montiert
  • Für Absolut und Relativdruck
  • Hohe Genauigkeit, exzellente Wiederholbarkeit
  • Bewährtes, kompaktes Durchfluss-Design
  • kompaktes Design mit on-board PID-Regler und direktwirkendem Regelventil
  • Analog-, RS232- und Feldbus-Kommunikation
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EL-PRESS Metal SealedP-602CM (P2-control)

Metallisch gedichtete Nachdruckregler

Bronkhorst® P-602CM Nachdruckwandler (elektronische Druckregler) wurden speziell entworfen, um den Anforderungen des Halbleitermarkts sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Instrumente zeichnen sich durch eine hohe Oberflächenqualität und einen modularen Aufbau mit metallischen Dichtungen aus, der langfristige Dichtigkeit gewährleistet. Das Modell P-602CM ist für die genaue Messung und Regelung von Druckbereichen zwischen 5…100 mbar und 3,2…64 bar Absolutdruk oder 1,05...21 bar Überdruck geeignet. Der elektronische Druckregler basiert auf einem bewährten Durchflussdesign. Er umfasst einen piezoresistiven Membrandrucksensor, eine mikroprozessorgesteuerte Platine mit Signal- und Feldbuskommunikation sowie einen PID-Regler für die Druckregelung über ein integriertes Regelventil.

Neben dem Standard-RS232-Ausgang bieten die Instrumente auch analoge Signale. Optional kann eine On-Board-Schnittstelle für CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII oder TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK oder FLOW-BUS Protokolle integriert werden.


Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Absolutdruck-SensorenCode: 350A - Ranges (FS): 100 ... 350 mbara - P-max: 1,0 bara - Burst pressure: 1,4 bara
Code: 1K1A - Ranges (FS): 0,35 ... 1,1 bara - P-max: 3,1 bara - Burst pressure: 4,2 bara
Code: 6K0A - Ranges (FS): 1,1 ... 6 bara - P-max: 10,5 bara - Burst pressure: 14 bara
Code: 21KA - Ranges (FS): 6 ... 21 bara - P-max: 62 bara - Burst pressure: 84 bara
Code: 64KA - Ranges (FS): 21 ... 64 bara - P-max: 100 bara - Burst pressure: n.a.
Relativdruck-SensorCode: 350R - Ranges (FS): 100 ... 350 mbarg - P-max: 1,0 barg - Burst pressure: 1,4 barg
Code: 1k1R - Ranges (FS): 0,35 ... 1,1 barg - P-max: 3,1 barg - Burst pressure: 4,2 barg
Code: 6K0R - Ranges (FS): 1,1 ... 6 barg - P-max: 10,5 barg - Burst pressure: 14 barg
Code: 21KR - Ranges (FS): 6 ... 21 barg - P-max: 62 barg - Burst pressure: 84 barg
Genauigkeit (inkl. Linearität und Hysterese)+ 0,5 % FS
Wiederholgenauigkeit< 0,1 % RD
Druckbereich1 : 20 (with flow range 1 : 50)
Regelstabilität≤ ± 0,05 % FS (typical for 1 slm N2 at specified process volume)
Betriebstemperatur-10 … +50 °C
up to +70°C on request
Temperatursensibilität0,1 % FS/°C
max. Kv-Wert6,6 x 10-2
Leckdichtigkeit, nach außen< 2 x 10-11 Pa.m3/s He
Leckage durch geschlossenes Ventil (metallisch gedichtet) / Leckrate bei geschlossenem Ventil (metallisch gedichtet)< 10-5 Pa.m3/s He
Lageempfindlichkeitmay be mounted in any position
Aufwärmzeitnegligible
Mechanische Teile
Werkstoff (medienberührte Teile)Edelstahl 316L oder vergleichbar
Prozessanschlüsse1/4" face seal couplings
Dichtungenouter seals: metal-to-metal (no O-rings);
valve seat: Kalrez® (FFKM); option: Viton®
Gewicht0,7 kg
Schutzart (Gehäuse)IP40
Elektrische Eigenschaften
Spannungsversorgung+15 … 24 Vdc
Stromaufnahme max.
Speisung
15 V
24 V
bei Spannung I/O
290 mA
200 mA
bei Strom I/O
320 mA
215 mA
Extra für Feldbus
<75 mA
<50 mA
Analoges Ausgangssignal0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digitale Kommunikationstandard: RS232;
options: CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII oder TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK oder FLOW-BUS
Elektrische Anschlüsse
Analog/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
Modbus/FLOW-BUSRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out);
Optionen Regelventil
Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument
Spezifikationen EX-Schutz
Zulassungen / Zertifikate

Technische Daten können ohne Vorankündigung geändert werden.

Hinweis: Die Messzelle des Drucksensors ist durch eine dünne, empfindliche Edelstahlmembran vom äußeren Druck getrennt, und der abgedichtete Hohlraum zwischen Membran und Zelle ist mit Öl gefüllt. Da die Standardölfüllung entflammbar ist, rät Bronkhorst, Vorsichtsmaßnahmen zu treffen, wenn Sauerstoff oder andere explosive Medien verwendet werden.

Für Maßzeichnungen und Anschlusspläne besuchen Sie die Produktseite auf unserer webseite

Downloads

Prospekte
Metal Sealed Durchfluss und Druck Prospekt

Bedienungsanleitungen
EL-PRESS Metal Sealed Bedienungsanleitung
EL-PRESS Metal Sealed Kurzanleitung

Anschlusspläne
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
Optional Bus and IO Configurations

Dimensionszeichnungen
P-602CM


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