FF-C1x

Durchflussregler & Druckregler für geringe Gasströme

FLEXI-FLOW Compact Massendurchfluss-/Druckregler eignen sich für die genaue Messung und Regelung von Durchflussbereichen zwischen 0...500 ml_n/min und 0...20 l_n/min bei Betriebsdrücken zwischen Vakuum und 17 bar(a). Das Gerät kombiniert einen schnellen und stabilen thermischen Massendurchflusssensor auf Basis der Kapillar-Chip-Technologie mit einer präzisen und bewährten Bypass-Konstruktion. Dank der einzigartigen TCS-Technologie (Through Chip Sensor) wird eine genaue, von Temperatur- und Leitungsdruckschwankungen nahezu unabhängige Massendurchflussmessung erreicht. In Kombination mit integrierten Temperatur- und vor- und nachgeschalteten Drucksensoren ermöglicht die eingebettete Datenbank für 22 Gase eine genaue On-Board-Umrechnung. Die Multiparameter-Instrumente liefern dem Anwender nützliche Prozessinformationen.

Die FLEXI-FLOW Compact Massendurchfluss-/Druckregler sind derzeit in 3 Varianten erhältlich:

'Preconfigured Advanced' (PA), Turndown 1:500, Durchfluss + Temperatur + Vor- und Nachdruck, 4 Durchflussbereiche (FS, basierend auf N₂):
Typ FF-A500 - 500 ml_n/min
Typ FF-A2K0 - 2 l_n/min
Typ FF-A5K0 - 5 l_n/min
Typ FF-A20K - 20 l_n/min
'Preconfigured Standard' (PS), Turndown 1:50, Durchfluss + Temperatur, 4 Durchflussbereiche (FS, basierend auf N₂):
Typ FF-S500 - 500 ml_n/min
Typ FF-S2K0 - 2 l_n/min
Typ FF-S5K0 - 5 l_n/min
Typ FF-S20K - 20 l_n/min
'Built-to-Order' (BtO), Turndown 1:1000; freie Auswahl der Bereiche zwischen 0,5 and 20 l_n/min (FS, basierend auf N₂),
Typ FF-C10: Durchfluss + Temperatur
Typ FF-C11: Durchfluss + Temperatur + Vor- und Nachdruck;
BtO Modelle können auch zur Konfiguration von Mehrkanalversionen mit bis zu 8 Kanälen verwendet werden.

Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Durchflussbereich (Zwischenbereiche verfügbar)	min. 0…500 ml_n/min max. 0…20 l_n/min (basierend auf N₂)





Druckbereiche	FF-C10: nicht verfügbar / FF-C11: 0...17 bar(a)



Genauigkeit (inkl. Linearität) (basierend auf der aktuellen Kalibrierung)	bis zu ±0,5% v.M. plus ±0,1% v.E. (N₂/Air/O₂); für andere Gase ist eine Umrechnungsunsicherheit hinzuzufügen; siehe Multi-Gas-Tabelle;




Wiederholgenauigkeit	Durchflusssensor: < ±0,2% v.M.; Drucksensoren: < ±0,2% v.E.
Turndown-Bereich	bis zu 1:1000


max. Betriebsdruck	16 bar(g)










Multi Gas/Multi Range	eingebettete Gasdaten für 22 einzelne Gase sowie beliebige Mischungen dieser Gase




Einschwingzeit (in Regelung, typisch)	< 150 ms
Langzeitstabilität	< 0,5% v.E. über einen Zeitraum von 3 Jahren; danach < 0,2% v.E. pro Jahr


Regelstabilität	< ± 0,1% FS (typical for 1 l_n/min N₂₎


Betriebstemperatur	0 … 50 °C
Lager-/Transportbedingungen	-20 … +80 °C, max. 95% RH (nicht kondensierend)

Einbau	Beliebige Position, Lageempfindlichkeit vernachlässigbar
Temperatursensibilität	Durchflusssensor: Nullpunkt 0,015% v.E./ºC; Spanne 0,05% v.M./ºC; Drucksensoren: Nullpunkt 0,16 mbar/ºC; Spanne 0,05% v.M./ºC
Temperatur-Genauigkeit	± 0,2 ºC (Temperatur des Gerätekörpers)
Genauigkeit Drucksensoren	±0,5% v.E.






Druckempfindlichkeit	standard: < 0,15% v.M./bar typisch N₂; mit Druckkorrektur: typische Verbesserung um Faktor 5



Leckdichtigkeit, nach außen	getestet < 2 x 10^-9 mbar l/s He
Leckage durch geschlossenes Ventil	typisch < 1 x 10^-4 mbar·l/s He

Mechanische Teile

Instrumentenkörper	Aluminium or Stainless steel (selectable);





Werkstoff (medienberührte Teile)	aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Oberflächenqualität	< 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra for stainless steel body)

Druckstufe (PN)	16 bar(g) / 250 psig



Max. ΔP	16 bar(d); 20 ln/min models: 5 bar (d)

Prozessanschlüsse	standard: BSPP Innengewinde (ISO1179-1) optional: Klemmring-, Steck- oder Vakuumverschraubungen

Dichtungen	FKM 51415; valve seat: FFKM with PI film; for other materials contact factory
Gewicht	200 g with Aluminium body, 300 g with SS 316 body; add 50 g for Ethernet interface
Schutzart (Gehäuse)	IP40

Elektrische Eigenschaften

Spannungsversorgung	24 Vdc ± 10%


Stromaufnahme max.	2,5 Watt (typical, in control); add 0,9 Watt for EtherNet communication















Digitale Kommunikation	Modbus RTU or FLOW-BUS (selectable) Optional: PROFINET, EtherCAT, Modbus-TCP, Ethernet/IP or POWERLINK







Support-Schnittstelle	USB-C port for easy setup; Optional Bluetooth connection for monitoring


Elektrische Anschlüsse	9-pin D-sub (male)
Zertifikation	CE / UKCA / KC

Elektrische Anschlüsse

Optionen Regelventil

Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument

Zertifizierung für explosionsgefährdete Bereiche

Zulassungen / Zertifikate

Downloads

Brochures
FLEXI-FLOW brochure

Bedienungsanleitungen
Betriebsanleitung FLEXI-FLOW
Kurzanleitung FLEXI-FLOW
Mounting Instruction Compression Fittings
Mounting Instruction Push-in Fittings

Hook-up diagrams
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU / FLOW-BUS

Dimensional drawings

Solids 3D
FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM

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