Bronkhorst
EL-FLOW® METAL SEALED Massendurchflussregler und -messer

EL-FLOW® Metal Sealed Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler

Für die Reinstgasversorgung

Die metallisch gedichteten Durchflussmesser und Durchflussregler von Bronkhorst zeichnen sich durch ihre einzigartige, international patentierte, metallische Abdichtungskonstruktion mit hervorragenden Dichtungseigenschaften aus. Aufgrund ihrer hohen Oberflächenqualität sind sie besonders geeignet, um den Anforderungen der Halbleiter- und Solarindustrie sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Basisblöcke der Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler sind mit 1/4‘‘-VCR-Verbindungen versehen.

  • Kleinster Mess- und Regelbereich 0,12...6 mln/min
  • Größter Mess- und Regelbereich 1... 50 ln/min

Metallisch gedichtete Massendurchflussmesser & Massendurchflussregler mit Feldbus-Schnittstelle

Moderne Instrumente sind mit einer digitalen Platine ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit, hervorragende Temperaturstabilität und schnelle Ansprechzeit (t98 auf 500 msec reduziert) bieten. Die neuesten Geräte der EL-FLOW® Serie verfügen über eine Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die unseren (OEM-)Kunden optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Um dem Kunden die Bedienung zu erleichtern, stellt Bronkhorst eine benutzerfreundliche Konfigurationssoftware bereit.

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Endwert-Bereich (N2-Äquivalent) versus Druckstufe

Massendurchflussregler Massendurchflussmesser
PN 64 bar PN 100 bar
F-201CM  |  0,006 ... 50 ln/min F-111CM  |  0,006 ... 50 ln/min


Eigenschaften

  • Metallische Dichtung zur Umgebung (ohne Ringe)
  • Hohe Oberflächenqualität der mediumberührende Teile
  • Reinraumgefertigt
  • Analoger und digitaler I/O mit optional integrierter Schnittstelle zu CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII oder TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK oder FLOW-BUS
  • Hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit
  • Stabile Steuerung, auch bei unterschiedlichen Prozessmengen

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Broschüren
Metallisch gedichtete Durchflussinstrumente und Druckinstrumente Broschüre

Bedienungsanleitungen
EL-FLOW Metal Sealed Quick Installation Guide
Bedienungsanleitung EL-FLOW Select (inkl. EL-FLOW Metal Sealed)

Anschlussdiagramme
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations

Bronkhorst Deutschland nord gmbh

Südfeld 1b
59174 Kamen (GER)
Tel. +49 230792512-0
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