Bronkhorst

Theorie und Vorteile der „CEM“-Dampfdosierung

In der Regel wird eine Flüssigkeit bei Raumtemperatur (z.B. Precursor für chemische Reaktionen oder Wasser zur Befeuchtung) aus einem Vorratsbehälter mit Inertgas-Polster oder einer Membran abgezogen und von einem Flüssigkeitsdurchflussmesser gemessen. Die Regelung des Durchflusses gemäß dem Sollwert erfolgt durch ein Regelventil (C), das ein integrierter Bestandteil des patentierten Mischventils (M) für Flüssigkeit und Trägergas ist. Die dort hergestellte Mischung wird anschließend dem Verdampfer zugeführt, in dem eine totale Verdampfung (E) erfolgt. Damit erklärt sich die Abkürzung „CEM“, nämlich: Control - Evaporation - Mixing, die drei Grundfunktionen von Bronkhorsts Liquid Delivery System.
Der Vorteil liegt darin, dass im Mischregelventil eine art Nebel erzeugt wird, so dass die kleinen Flüssigkeitstropfen mit möglihst wenig Wärmezufuhr homogen verdampft werden können.
Ein komplettes System umfasst auch eine Anzeige-/Regeleinheit, einschließlich Netzteil, für den Betrieb der Geräte des CEM-Systems. 

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CEM: Controlled Evaporation Mixing

  1. Schnelle Verdampfung
  2. Präkursor nur kurze Zeit bei höherer Temperatur
  3. Für weniger stabile Präkursoren sehr geeignet
  4. Druck und Temperaturen in den Leitungen spielen keine Rolle
  5. Präkursordosierung mithilfe eines Flüssigkeitsdurchflussreglers
  6. Präkursor in einem Behälter bei niedriger Temperatur

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