Bronkhorst

EL-FLOW Metal Sealed F-111CM

Débitmètre tout métal pour gaz

  • La construction brevetée métal-métal assure une étanchéité à long terme (vers l'extérieur)
  • Pièces en contact avec le fluide électropolies
  • Assemblé en salle blanche
  • Grande précision, excellente répétabilité
  • En option : fonctionnalité Multi-Gaz / Multi-Gammes 
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EL-FLOW Metal SealedF-111CM

Débitmètres massiques Metal Sealed pour les gaz

Le débitmètre massique (MFM) F-111CM de Bronkhorst® est spécialement conçu pour répondre aux exigences du marché des semi-conducteurs et autres applications de gaz de grande pureté. Ces instruments sont dotés d'un état de surface supérieur et offrent une construction modulaire. Cette série intègre des joints métal qui assurent une étanchéité à long terme. Elle est assemblée et étalonnée en salle blanche. Le modèle F-111CM permet une mesure précise sur des plages de débit de 0,12 à 6 sccm et de 1 à 50 slm (basé sur N2) à des pressions de service comprises entre le vide et 1 500 psig (100 bar).

La technologie numérique des instruments de la série EL-FLOW® Metal Sealed offre une grande précision, une excellente stabilité de température et une réponse rapide. La carte mère contient toutes les fonctions générales nécessaires à la mesure et à la régulation. Outre la sortie standard RS232, les instruments disposent également des entrées / sorties analogiques. En option, il est possible d'équiper l'appareil d'une interface bus de terrain CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS. Le modèle EL-FLOW® Metal Sealed dispose de la fonctionnalité Multi-gaz / Multi-échelles, offrant aux utilisateurs un maximum de flexibilité et de souplesse d'évolution pour d'autres utilisations.


Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)min. 0,12…6 mln/min
max. 1…50 ln/min
(based on N2)
Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)±0,5% Rd plus ±0,1% FS
Répétabilité< 0,2 % RD
Rangeabilité1:150 (1:50 en mode analogique)
Pression max. de fonctionnement1500 psig (100 bar abs)
Capacité multi-fluidesstockage de max. 8 courbes d'étalonnage;
Multi Gas / Multi Range fonctionnalité optionnelle jusqu'à 10 bar abs
Température de fonctionnement-10…+70 °C
Sensibilité à la températurezero: < 0.05% FS/°C; span: < 0.05% Rd/°C
Sensibilité à la pression< 0,1% Rd/bar typical N2;
< 0,01% Rd/bar H2
Etanchéité, vers l'extérieur< 2 x 10-11 Pa.m3/s He
Sensibilité à l'orientationmay be mounted in any position
Temps de chauffe30 min. for optimum accuracy
2 min for accuracy ± 2% FS
Parties mécaniques
Matériau (pièces en contact avec le fluide)stainless steel 316L or comparable
Raccords de process1/4” face seal male
JointsOuter seals: metal-to-metal (no rings);
Inner seal: Kalrez 6375
Poids0,6 kg
Protection IPIP40
Propriétés électriques
Alimentation électrique+ 15 … 24 Vdc
Consommation d'électrique max.
Supply
15 V
24 V
at voltage I/O
95 mA
65 mA
at current I/O
125 mA
85 mA
extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA
Sortie analogique0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Communication numériquestandard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS
Raccordement électrique
Analogique/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out)
Options vanne de régulation
Options actionneur externe à connecter au régulateur
Spécifications Ex-proof
Certifications / certificats

Les spécifications techniques peuvent être modifiées sans préavis.

Pour les schémas d'encombrements et les schémas de câblage, visitez le/la page produits sur notre Site internet

Téléchargements

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

Manuels
Guide d'installation rapide El_FLOW Select
Manuel EL-FLOW Select

Schémas de câblage
E/S analogiques et RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
Configurations de bus et d'E/S optionnelles

Schéma d'encombrement
Schéma d'encombrement F-111CM
Dimensions Digital Cases


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Gewerbestrasse 7
4147 Aesch BL (CH)
Tel. +41 61 715 90 70
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