Bronkhorst

IQ+FLOW IQF-100C MFM

Débitmètre microfluidique pour les gaz

  • Concept à faible encombrement
  • Faible volume interne
  • Solution avantageuse, faible coût de revient
  • Communication numérique ou analogique
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IQ+FLOWIQF-100C MFM

Débitmètres massiques miniaturisés MEMS pour les gaz destinés aux applications OEM

Le débitmètre massique (MFM) IQF-100C de la série IQ+FLOW® de Bronkhorst® permet une mesure précise de gaz secs, propres, non corrosifs et non explosifs. Ce MFM ultracompact dispose d'un capteur de débit massique thermique réalisé sur une puce (MEMS) et permet la mesure sur des plages de débit de 0,2 à 10 mln/min et de 0,1 à 5 ln/min équivalent N2 à des pressions de service comprises entre le vide et 10 bar rel. La communication avec les dispositifs se fait en mode analogique ou en mode numérique via RS232 ou RS485.

Il est généralement conseillé d'intégrer les instruments IQ+FLOW ultracompacts dans des équipements analytiques et médicaux.


Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)min. 0,2…10 mln/min
max. 0,1…5 ln/min
(based on N2)
Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)< ±1,5% RD + ±0,5% FS
(Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)
Répétabilitéfor flows < 20 mln/min: < ±0.5% FS;
for flows > 20 mln/min: < ±0,5% RD
Rangeabilité1:50 (2…100%)
Pression de fonctionnement0 … 10 bar g
FluidesDry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N2, Ar, He, CO2 and H2. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O2, CO, …)
Capacité multi-fluidesStockage de max. 8 courbes d'étalonnage
Température de fonctionnement5 … 50 °C
Sensibilité à la températurespan: 0,2% RD/°C; zero: 0,01 mln/min/°C
Perte de charge0,3 psi dif (20 mbard) based on 1 ln/min Air at 0 bar(g)
Etanchéité, vers l'extérieur< 1 x 10-8 mbar∙l/s He
Sensibilité à l'orientationmax. error at 90° off horizontal 0,5 mln/min at 1 bar, typical N2
Parties mécaniques
Matériau (pièces en contact avec le fluide)aluminium, Si, SiOx, epoxy;
option: stainless steel body (SS316L)
Raccords de processoptional: 10-32 UNF threaded internal nut with 1/16” ferrule (SS316 or Peek);
1/16” or 1/8” OD compression type
Jointsstandard: Viton®; other on request
Poids100 g (Aluminium) / 160 g (SS316L)
Protection IPIP40
Propriétés électriques
Echantillon du temps de lecture2 msec
Alimentation électrique+ 15 … 24 Vdc
Consommation d'électrique max.50 mA
Sortie analogique0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Communication numériqueRS232, RS485 (Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)
Raccordement électrique
Alimentation/Analogique/RS232/RS485RJ45 modular jack
Options vanne de régulation
Options actionneur externe à connecter au régulateur
Spécifications Ex-proof
Certifications / certificats

Les spécifications techniques peuvent être modifiées sans préavis.

Pour les schémas d'encombrements et les schémas de câblage, visitez le/la page produits sur notre Site internet

Téléchargements

Brochures
IQ-FLOW Brochure

Manuels
Manuel IQ-FLOW
Guide d'installation rapide

Schémas de câblage
Analog I-O RS232
RS232-RS485
RS232-RS485 Analog I-O

Schéma d'encombrement
Schéma d'encombrement IQF-IQP 1-channel in-line

Solids 3D
IQF-100C-200C


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