Bronkhorst
EL-FLOW® METAL SEALED MASS FLOW METERS / CONTROLLERS

Régulateurs de débit / Débitmètres massiques EL-FLOW® Metal sealed

Pour les applications de gaz de grande pureté

Les débitmètres massiques et régulateurs de débit massique de gaz Metal Sealed de Bronkhorst se caractérisent par leur configuration unique et brevetée à joint métal offrant une excellente étanchéité. En outre, ils se distinguent par une qualité de surface élevée et sont donc particulièrement adaptés pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs et de l'énergie solaire, ainsi qu'à d'autres applications de gaz de grande pureté. Les corps des débitmètres massiques et des régulateurs de débit massique sont équipés en standard de raccords 1/4" à étanchéité de surface métallique mâle (VCR).

  • Plage minimum 0,12 à 6 mln/min
  • Plage maximum 1 à 50 ln/min

Débitmètre massique / régulateur de débit massique Metal Sealed avec interface bus de terrain

Les instruments actuels sont équipés d'une carte numérique, offrant une grande précision, une excellente stabilité de température et une réponse rapide (temps de stabilisation t98 à 500 msec). Le modèle EL-FLOW® Metal Sealed dispose de la fonctionnalité Multi-gaz / Multi-échelles, offrant aux utilisateurs un maximum de flexibilité et de souplesse d'évolution pour d'autres utilisations. Afin d'épauler au mieux les utilisateurs, Bronkhorst fournit un logiciel de configuration simple d'utlisation. 

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Lien rapide vers les pages des modèles de régulateurs / débitmètres massiques

Capacités pleine échelle (basées sur N) et pression 
 

Régulateur de débit massique  Débitmètre massique
PN 64 bar PN 100 bar
F-201CM  |  0,006 ... 50 ln/min F-111CM  |  0,006 ... 50 ln/min


Caractéristiques

  • Construction des joints Métal / Métal permettant les démontages multiples
  • Pièces en contact avec le fluide électropolies
  • Assemblage en salle blanche
  • Option Mutli-gaz / multi-échelles
  • Entrée/Sortie analogique et numérique, avec en option une interface intégrée CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS
  • Très grande stabilité du zéro ( l'auto zéro n'est pas nécessaire)
  • Très grande précision et répétabilité

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Téléchargements

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

Manuels
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed)


Bronkhorst France S.a.s.

53 Rue Jacques Verniol
F-95370 Montigny-Les-Cormeilles (FR)
Tel. +33 1 34 50 87 00
[email protected]

      
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