FF-M1x

Débitmètre massique avec contrôle de pression pour les faibles débits de gaz

Les débitmètres massiques FLEXI-FLOW Compact permettent une mesure précise sur des plages de débit de 0 à 500 ml_n/min et de 0 à 20 l_n/min à des pressions de service comprises entre le vide et 17 bar(a). L’instrument est doté d’un capteur de débit massique thermique de technologie MEMS, à la fois stable et rapide, associé à la technologie éprouvée de by-pass. Grâce à la technologie unique TCS (Through Chip Sensor), une mesure précise du débit massique, indépendante des variations de température et de pression, est réalisée. Associée à des capteurs de température et de pression amont et aval intégrés, la base de données embarquée permet une conversion précise pour 22 gaz. Les instruments multi-paramètres fournissent des informations utiles à l'utilisateur concernant le procédé :
- Model FF-M10: débit + température
- Model FF-M11: débit + température + pression amont et aval

Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)	min. 0…500 ml_n/min max. 0…20 l_n/min (basée sur N₂)





Gammes de pression	FF-M10: pas disponible / FF-M11: 0...17 bar(a)



Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)	jusqu'à ±0,5% Rd plus ±0,1% FS (N₂/Air/O₂); pour les autres gaz, ajouter l'incertitude de conversion; voir table multi-gaz;




Répétabilité	Capteur de débit: < ±0,2% Rd; Capteurs de pression: < ±0,2% FS
Rangeabilité	jusqu'`a 1:1000


Pression max. de fonctionnement	16 bar g










Multi-gaz/Multi-gammes	données intégrées sur les gaz pour 22 gaz uniques et tout mélange de ces gaz

Temps de réponse (capteur)	< 30 ms (T₆₃)



Stabilité à long terme	< 0,5% FS sur une période de 3 ans ; ensuite < 0,2% FS par an





Température de fonctionnement	0 … 50 °C
Conditions de stockage / transport	-20 … +80 °C, max. 95% RH (non condensant)

Montage	la sensibilité à la position de montage est négligeable
Sensibilité à la température	Capteur de débit: du zéro 0,015% FS/ºC; de la lecture 0,05% Rd/ºC; Capteurs de pression: du zéro 0,16 mbar/ºC; de la lecture 0,05% Rd/ºC
Précision de la température	± 0,2 ºC (température du corps de l'instrument)
Précision des capteurs de pression	±0,5% FS






Sensibilité à la pression	standard: < 0,15% Rd/bar typique N₂; avec correction de la pression: amélioration typique du facteur 5



Etanchéité, vers l'extérieur	testée < 2 x 10^-9 mbar l/s He

Parties mécaniques

Corps de l'instrument	Aluminium or Stainless steel (selectable)





Matériau (pièces en contact avec le fluide)	aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Qualité état de surface	< 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra for stainless steel body)

Pression (PN)	16 bar(g) / 250 psig





Raccords de process	standard : BSPP femelle (ISO1179-1) optionnel : raccords double bagues ou à étanchéité de surface

Joints	default: FKM 51415; for other materials contact factory
Poids	225 g with Aluminium body, 325 g with SS 316 body; add 50 g for Ethernet interface
Protection IP	IP40

Propriétés électriques

Alimentation électrique	24 Vdc ± 10%


Consommation d'électrique max.	0,5 Watt; add 0,9 Watt for EtherNet communication















Communication numérique	Modbus RTU or FLOW-BUS (selectable); Optional: PROFINET, EtherCAT, Modbus-TCP, Ethernet/IP or POWERLINK







Interface de support	USB-C port for easy setup; Optional Bluetooth connection for monitoring


Raccordement électrique	9-pin D-sub (male)
Certification	CE / UKCA / KC

Raccordement électrique

Options vanne de régulation

Options actionneur externe à connecter au régulateur

Certification pour les zones à risque d'explosion

Certifications / certificats

Téléchargements

Brochures
FLEXI-FLOW brochure

Manuels
Manual FLEXI-FLOW
Quick installation guide FLEXI-FLOW
Mounting Instruction Compression Fittings
Mounting Instruction Push-in Fittings

Schéma électrique
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU / FLOW-BUS

Schéma d'encombrement

Solids 3D
FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM

FLEXI-FLOW Compact FF-M1x

Débitmètre massique avec contrôle de pression pour les faibles débits de gaz

Spécifications techniques

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