Bronkhorst

IQ+FLOW IQFD-200C Downported MFC

Régulateur de débit massique microfluidique pour les gaz, à montage en surface

  • Concept à faible encombrement
  • Faible volume interne
  • Solution avantageuse, faible coût de revient
  • Communication numérique ou analogique
  • Construction Top-mount, facilite l'accès
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IQ+FLOWIQFD-200C Downported MFC

Régulateurs de débit massique miniaturisés MEMS pour les gaz destinés aux applications OEM

Le régulateur de débit massique (MFC) IQFD-200C de la série IQ+FLOW® de Bronkhorst® permet une régulation précise de gaz secs, propres, non corrosifs et non explosifs. Ce MFC ultracompact dispose d'un capteur de débit massique thermique réalisé sur une puce (MEMS) et permet la régulation sur des plages de débit de 0,2 à 10 mln/min et de 0,1 à 5 ln/min équivalent N2 à des pressions de service comprises entre le vide et 10 bar rel. La communication avec les dispositifs se fait en mode analogique ou en mode numérique via RS232 ou RS485.

Il est généralement conseillé d'intégrer les instruments IQ+FLOW ultracompacts dans des équipements analytiques et médicaux.


Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)min. 0,2…10 mln/min
max. 0,1…5 ln/min
(based on N2)
Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)< ±1,5% RD + ±0,5% FS
(Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)
Répétabilitéfor flows < 20 mln/min: < ±0.5% FS;
for flows > 20 mln/min: < ±0,5% RD
Rangeabilité1:50 (2…100%)
Pression de fonctionnement0 … 10 bar g
MédiaDry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N2, Ar, He, CO2 and H2. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O2, CO, …)
Capacité multi-fluidesStockage de max. 8 courbes d'étalonnage
Temps de réponse (en régulation, standard)t98% down to 300 msec, 700 msec typical
Température de fonctionnement5 … 50 °C
Sensibilité à la températurespan: 0,2% RD/°C; zero: 0,01 mln/min/°C
Valeur de Kv max.2,37 x 10-3
Etanchéité, vers l'extérieur< 1 x 10-8 mbar∙l/s He
Sensibilité à l'orientationmax. error at 90° off horizontal 0,5 mln/min at 1 bar, typical N2
Parties mécaniques
Matériau (pièces en contact avec le fluide)aluminium, Si, SiOx, epoxy;
option: stainless steel body (SS316L)
Raccords de processdownported construction
Jointsstandard: Viton®; other on request
Poids120 g (Aluminium) / 180 g (SS316L)
Protection IPIP40
Pression différentielle max. dans la vanne de régulation9 bar dif.
Propriétés électriques
Echantillon du temps de lecture2 msec
Alimentation électrique+ 15 … 24 Vdc
Consommation d'électrique max.100 mA
Sortie analogique0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Communication numériqueRS232, RS485 (Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)
Raccordement électrique
Alimentation/Analogique/RS232/RS485RJ45 modular jack
Options vanne de régulation
Options actionneur externe à connecter au régulateur
Certification pour les zones à risque d'explosion
Certifications / certificats

Les spécifications techniques peuvent être modifiées sans préavis.

Pour les schémas d'encombrements et les schémas de câblage, visitez le/la page produits sur notre Site internet

Téléchargements

Brochures
IQ-FLOW Brochure
Manuels
Manuel IQ-FLOW
Guide d'installation rapide
Schémas de câblage
RS232-RS485
Schéma d'encombrement
Schéma d'encombrement IQFD-IQPD 1-channel topmount
Solids 3D
IQFD-100C-200C


Bronkhorst France S.a.s.

53 Rue Jacques Verniol
F-95370 Montigny-Les-Cormeilles (FR)
Tel. +33 1 34 50 87 00
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