EL-FLOW® メタルシール マスフローメータ / コントローラ
高純度ガス供給のために
ブロンコストのメタルシール型マスフローメータ / コントローラは、優れた再シール性能をもつ独自の特許取得済みの金属間シール構造が特徴です。さらに、それらは高い表面品質を有するため、半導体およびソーラー産業界、その他高純度ガスアプリケーションの要請を満たすのに特に適しています。マスフローメータ / コントローラのベースブロックには1/4" 金属面シール継手(VCR)が付属します。
- 最小レンジ 0.12...6 mln/min
- 最大レンジ 1...50 ln/min
フィールドバスインターフェイス付きメタルシール型マスフローメータ / コントローラ
現行の製品はデジタルPCボードを搭載しており、高精度、優れた温度安定性、高速応答(セトリング時間t98% 最小500 ms)などの特長があります。最新のEL-FLOW®はマルチガス・マルチレンジ機能にオプション対応致しますので、お客様(特にOEM顧客)へ最適な柔軟性とプロセス効率を提供します。顧客の利便のため、ブロンコストは操作が容易な機器設定用ソフトウェアを提供しております。
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サーマルマスフロー測定に関する詳細情報