FLUIDATを搭載したマスフローメータ/コントローラにはどのようなガスデータが組み込まれていますか?
処理媒体の密度、粘度、熱伝導率、熱容量は圧力と温度の影響を受けて変化します。FLUIDAT On Boardのアルゴリズムは、これらの特性を継続的に再計算し、ガス流量の調整に使用します。 
-
EL-FLOW PrestigeはFLUIDATデータベースを内蔵しています。
-
FLEXI-FLOW Compactは、一般的に使用される22種類のガスの特性を持つデータベースを内蔵しています:アセチレン
アセチレン (C2H2), 空気, アレン (C3H4 #1), アルゴン (Ar), 二酸化炭素 (CO2), 一酸化炭素 (CO), シクロプロパン (C3H6 #1), 重水素 (D2 #1), エタン (C2H6), エチレン (C2H4), ヘリウム (He)、水素(H2)、クリプトン(Kr)、メタン(CH4)、ネオン(Ne)、窒素(N2)、亜酸化窒素(N2O)、酸素(O2)、パーフルオロプロパン(C3F8)、プロパン(C3H8)、プロピレン(C3H6 #2)、プロピレン(C3H4 #2 -
MASS-STREAM D-6400には、以下の36種類のガスデータが搭載されています:以下;
空気、アンモニア(NH3)、アルゴン(Ar)、二酸化炭素(CO2)、一酸化炭素(CO)、塩素(Cl2)、ジメチルエーテル(C2H6O #1)、塩化水素(HCl)、硫化水素(H2S)、メタンチオール(CH4S)、窒素(N2)、窒素酸化物(NO)、亜酸化窒素(N2O)、酸素(O2)、オゾン(O3)、ペンタンチオール(C5H12S)、シラン(SiH4)、二酸化硫黄(SO2)、および16種類の炭化水素。nbsp;