熱式質量流量計

Thermal mass flow meters、加熱素子と温度センサーを組み合わせて気体の質量流量を測定し、熱力学的原理を用いて実際の流量を導出します。温度、圧力、密度の変化に対する補正は限定的であり、特に低流量や非常に低い流量を測定する場合には極めて正確です。

層流エレメント、LFE

写真1:層流エレメント、LFE

層流要素;重要な要素

写真1に見られる層流エレメントは、バイパス原理に基づく熱式質量流量計の重要な構成要素です。層流エレメント(LFE)の機能は分流を作ることです。bypass principle原理に基づく熱式質量流量計の場合、質量流量はメイン流路のバイパスで測定されます。LFEの特殊な寸法により、キャピラリーセンサーチューブと同じリニアな圧力/流量特性を作り出すことができます。

層流エレメントを作成するために、精密な標準に合わせてエッチングされた薄い積層プレートが使用され、非常に小流量から中流量(< 1 mln/minから最大20 ln/min)の測定が可能です。バイパスは内径0.2mmのキャピラリーチューブで、この小さなサイズにより、わずかなチューブ体積しか加熱する必要がないため、応答時間が速く、必要なエネルギーが少なくて済みます。

is described in this blog、層流の重要性と乱流との違いについて説明する。

層流エレメント(LFE)のシャント原理:ガス流の一部のみがセンサーを通過する。残りの流れはLFEを通過します。

写真2:層流エレメント(LFE)のシャント原理:ガス流の一部のみがセンサーを流れる。残りの流れはLFEを流れる。

ケミカルエッチングされた金属部品で業界をリードする製品を生み出す

製品、ひいては部品の小型化は、メーカーが業界をリードする製品を生み出すために必要なことです。LFEのフローディスクには、超精密部品のサブトラクティブ製造法であるケミカル・エッチング・プロセスを適用しています。

ケミカル・エッチング

ケミカル・エッチング(光化学機械加工(PCM)およびケミカル・ミリングとしても知られる)は、精密であると同時に、迅速かつ経済的です。高価な工具や機械を使用することなく、複雑で多段階、多機能、高精度の部品を製造することができます。CNCマシニング、スタンピング、プレス、ワイヤー浸食などの「伝統的な」機械加工、さらにはレーザー切断や電気化学機械加工などの「現代的な」加工に比べ、柔軟なツーリングと拡張性を備えたケミカルエッチングは、プロトタイプから大規模生産に至るまで、非常に競争力のある選択肢を提供します。ラピッドプロトタイプは、お客様の図面から数日で製作することができます。

主なメリット

01

ストレスやバリのない部品

02

ミクロンサイズの特徴

03

厳しい公差

04

幅広い素材

05

厚さ25um~2mm

06

丸穴、シャープエッジ、ストレートエッジ、プロファイルエッジ

07

ラピッドプロトタイピング

08

費用対効果の高い製造

09

フレキシブルなツーリングにより、簡単な変更が可能

一般的なガス流量測定

流量測定は、温度、圧力、レベル測定と並んで、「知る必要のある」プロセス・パラメーターの一つとして認識されています。気体の正確な質量流量測定は、多くの工業プロセスや研究室プロセスの操作と制御において非常に重要です。

food and beverage セクター、chemical 工業、半導体製造では、流量計の精度が最適な品質と不合格品の決定要因になることがよくあります。laboratory research、パイロットプラント、カストディー・トランスファーなどの分野では、正確で再現性のある測定が同様に重要です。

EL-FLOW プレステージマスフローメータ

EL-FLOW Prestigeサーマルガスフローメータは次世代のブロンコスト製ガス用マスフローメータ/コントローラです。ほぼ全てのコアコンポーネントが再設計され、多くの改良と革新が取り入れられました。この新シリーズでブロンコスト社は "差動温度バランシング "技術を導入し、 センサーの優れた安定性を確保しました。EL-FLOWプレステージに統合された革新的技術について記載されたブロンコスト社のホワイトペーパー "サーマルマスフローメータ/コントローラの最適性能を提供するコンポーネントを設計するためのデータに基づいた総合的な視点 "をご購読いただけます。

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