流量計の選択
流量計を選ぶ前に、用途に応じた耐薬品性を考えることが重要です。流量計が1つのガスのみを測定する専用である場合は比較的容易ですが、複数のガスの測定に使用する場合は、より難しくなります。後者の場合、各ガスの適合性を個別にチェックする必要があります。
マスフローメータとマスフローコントローラについてさらに詳しくお知りになりたい方は、ナレッジベースページThermal mass flow measurement" をご覧ください。
エラストマーシールの選択
流量計のエラストマーシール材は、使用条件における耐薬品性に基づいて選択するのが最善です。当社は長年にわたり、様々な化合物の相溶性について多くの情報を蓄積してきました。
FKMまたはFPM（バイトン®） - エラストマーシール
多くの用途では、FKMやFPMフルオロエラストマーなどの一般的なエラストマーシールが使用されます（Viton®としても知られています）。
詳細情報FKMは米国規格ASTMによるフルオロエラストマーの略称です。FPMはDIN/ISOによる国際的な略称で、Viton®はDuPont Performance Elastomersの登録商標です。
このタイプのエラストマーシールでは、化学的適合性の問題は限定的です。しかし、使用されるエラストマーの耐薬品性は、お客様のプロセスで選択されるガスと必ずしも適合するとは限りません。そのため、この点を事前にご確認ください。
前述したように、FKMとFPMはさまざまな用途で使用されている。これらの他に、使用することを選択することもできます：
- FFKMまたはFFPM (Kalrez®)
- EPDM
詳細情報FFKMはアメリカのASTM 1418規格で使用される用語であり、FFPMはISO/DIN 1629規格でそれに相当する。どちらもパーフロロエラストマー化合物である。これらの化合物は、上記のフルオロエラストマーよりもフッ素含有量が多い。EPDMはEthyleen Propyleen Dieen monomeerである。
プランジャーのうねり
マスフローコントローラの場合、エラストマー材料の膨潤が問題になることがある。マスフローコントローラは、実際にはコントロールバルブが取り付けられたマスフローメータです。流量計に接続されたバルブのプランジャーはエラストマー材料で作られています。作動中のプランジャーの上昇は非常に限られています。ほんの数マイクロメートルです。プランジャーの膨張がバルブの機能に影響を与えることは想像に難くありません。
流量計のボディとセンサーの材質
シーリングの選択に加え、流量計のボディとセンサーの材質も考慮する必要があります。ボディとセンサーの材質はステンレス鋼が一般的ですが、腐食性の強い化学薬品を使用する用途では、ハステロイ製センサーや、耐薬品性に優れたコーティングを施したセンサーが必要になる場合があります。
エラストマーシールなし流量計
全ての流量計にエラストマーシールが使用されているわけではありません。当社の製品ポートフォリオにはコリオリベースの製品ラインもあります。これらの流量計にはエラストマーシールは含まれていません。これは必ずしもセンサーの構造によるものではありません。
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