熱式マスフローメーターが何をするか想像してみてください：この装置は、微量の熱を利用して気体や液体の低質量流量を測定します！
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熱式質量流量測定とは？
熱式質量流量測定とは？
質量流量とは？
流体の熱的特性とその質量との間のこの直接的な関係には、温度や圧力の変化などのプロセス条件の変化に影響されない質量流量が測定されるという利点があります。質量流量と体積流量の関係については、ナレッジベースをご覧ください。化学反応のような多くの生産および研究開発プロセスでは、質量が重要な変数であり、体積ではありません。
熱容量
熱質量流量の測定は、流体の比熱容量などの熱特性に依存します。液体または気体の比熱容量は、流体の特徴的な材料特性です。これは、ある量の熱エネルギーが流体に吸収されたときの流体の温度上昇を摂氏で定義したものです。流体の質量が関係する。2グラムの流体は、同じ流体1グラムの2倍の熱を吸収することができる。これは、静止流体にも移動流体にも適用されるので、低流量の液体や気体の流れにも適用される。 熱質量流量測定は、この基本的な物理原理を非常にわかりやすく利用したもので、比熱容量（摂氏1度あたりのグラムあたりのジュール）と熱による温度差（摂氏）を比例係数として、流れる質量（1秒あたりのグラム数）と印加された電力（1秒あたりの熱ジュール数）を関係付ける。
なぜ校正が必要なのですか？
熱式質量流量計の測定原理は熱伝導に基づいており、流体の密度と比熱容量に依存します。従って、熱式質量流量計は特定の流体用に校正する必要があります。
3 熱式質量流量計のセンサー原理の種類
熱式質量流量計は、流体の熱特性を利用して質量流量を計測（または「感知」）します。これは実際にはどのように機能するのでしょうか？私たちは3つの異なるセンサー原理を区別しています：
- バイパス原理を利用したガス用熱式質量流量センサー。流量の比例部分が流量制限を通過します。
- インライン原理(CTA)を採用したガス用熱式質量流量センサー。
- インライン原理（CTA/CPA）を用いた液体用熱式質量流量センサー。
MEMSベース熱式質量流量計の詳細
また、チップベースのセンサーを使用したガス用サーマルマスフローメーターもあります。MEMS技術(Micro Electro-Mechanical System)はBronkhorstFLEXI-FLOWデバイスに組み込まれており、気体の流れがこれらのセンサーに接触します。質量流量に加え、FLEXI-FLOWデバイスはガスの温度と圧力も計測することができます。非常にコンパクトなMEMSベースのIQ+FLOWデバイスは限られたスペースでの使用に最適です。
熱式マスフローメータまたはコントローラ
サーマルマスフローメータは、供給されるガスまたは液体のマスフロー流量を正確かつ繰り返し制御するために、一体型または密着型制御バルブを追加することにより、マスフローコントローラに変身します。
