アダムが説明する:EL-FLOW Prestige
技術仕様
±0.5% Rd + ±0.1% FS (によると SEMI E56)
EL-FLOW Prestige モデル
最高のセンサー安定性と精度を保証するハイエンドモデル。オンボードガス変換モデルを搭載し、100種類のユニークなガスを選択可能なガスデータベースを含む。
ガス用ハイエンドマスフローメータ/コントローラ
EL-FLOW Prestigeは人気のEL-FLOW Selectシリーズの上級バージョンです。この実験室型ガス流量計(IP40)は当社のハイエンドモデルに分類され、卓越したセンサーの安定性と最高の精度を保証します。この機器にはガスデータベースが搭載されており、リアルタイムの温度・圧力補正が可能です。EL-FLOW Prestigeは研究室での測定や研究セットアップに最高品質をお求めのお客様に最適な機器です。
極めて正確な流量測定を可能にする、優れたセンサー品質を備えたハイエンドモデル。
マルチ流体/マルチレンジ機能により、使用するガスを変更することができます。機器には、約100種類のユニークなガスを含むガスデータベースを含む、オンボードガス変換モデルが装備されています。
「圧力補正」モデルを選択すると、圧力の変化をリアルタイムで補正できます。
「EL-FLOW Prestigeは反応性ガスを扱うことができ、汎用性が高いため、研究室での幅広い用途に適しています。」
温度変化に対して流量測定を補正するための温度補正
±0.5% Rd + ±0.1% FS (によると SEMI E56)
最高のセンサー安定性と精度を保証するハイエンドモデル。オンボードガス変換モデルを搭載し、100種類のユニークなガスを選択可能なガスデータベースを含む。