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スマートフォンやタブレットなどのガジェット、電気自動車や電動自転車などの乗り物など、リチウムイオン二次電池は私たちの身近にある。これらの電池は、負極と正極、つまりそれらの材料によって容量が大きく左右される。
グラファイトの形をしたカーボンは、リチウムイオン電池の負極材として常に重宝されてきた。しかし、炭素よりも多くのリチウムイオンに対応できる空間を持つシリコンが、その扉を叩いている。その代償として、シリコン負極はグラファイトよりも充放電時の膨張・収縮が激しく、機械的に脆弱な材料となっている。両材料の優れた特性を組み合わせるため、負極材料としてのシリコン／炭素複合材料は高い関心を集めており、開発が進められている。
ブロンコストデバイスは中国の大手陽極メーカーである佛山市のシリコン/カーボン複合陽極の製造に不可欠です。その理由をお読みください。
応募条件
シリコン/カーボン複合アノードの製造に使用される化学気相成長(CVD)プロセスでは、前駆体の供給を最適に制御する必要がある。特にシラン前駆体の正確な流量制御が要求され、通常1% ofのフルスケール精度が必要です。さらに、この精度は長期間維持される必要があるため、再現性も重要である。シランは反応性が高いため、特に注意が必要です。
重要なトピック
重要なトピック
CVDプロセスの制御が向上し、より信頼性の高いプロセスを実現
特にシリコン前駆体シラン流量の高い精度と再現性
スケールアップの容易さによる柔軟性
プロセスソリューション
シリコン/カーボン複合アノード製造のCVDプロセスでは、シラン(SiH4)、窒素(N2)、アセチレン(C2H2)などのガス状化合物が加熱されたリアクターに供給され、そこで反応し、多孔質カーボン基板に複合材料として堆積する固体シリコンとカーボン化合物になります。ブロンコスト社のサーマルEL-FLOWマスフローコントローラはこのプリカーサーの供給に使用され、プリカーサーの種類と流量範囲に合わせて校正されています。
基本的に、精度はCVDプロセスを制御し続けるための必須条件です。EL-FLOWシリーズの熱原理は、プリカーサーの正確な供給を可能にします。プリカーサーの熱特性とその質量には直接的な関係があります。このため、温度や圧力の変動などのプロセス条件の影響を受けずに、質量流量を制御できるという利点があります。
ブロンコスト社はシランをプリカーサとして、例えば太陽電池市 場で広範囲な経験を積んできました。EL-FLOWマスフローコントローラはこの危険な化合物の安全な取り扱いを可能にします。例えば、反応性の高いシラン源が少量の水や空気で汚染された場合、シランの流れの中で小さなシリカ（SiO2）粒子が形成される可能性があります。マスフローコントローラの内部が目詰まりしないように、フィルターなどの手段が利用できる。さらに、外部からの空気(O2)のシランストリームへの漏れは、ブロンコスト計器の非常に優れたリークインテグリティにより防止されています。
このアプリケーションでは精度が重要であるため、プリカーサーの質量供給に使用されるブロンコストEL-FLOWデバイスの熱原理は、ゼロ点ドリフトの影響を受ける差圧流量制御よりも優れています。
このアプリケーション用に、より堅牢なマスフローコントローラが必要な場合は、同様の熱流量制御原理で動作し、1% ofフルスケールの精度を持つMASS-STREAMデバイスをご利用いただけます。
「ブロンコスト社は我々のガスマスフロー制御の優先サプライヤーです。高精度、短納期、安定した信頼できる性能（3年保証）、効果的なテクニカルサービスにより、私共にとって最高の選択です。工業化の進展に伴い、ブロンコスト社との更なる緊密な協力関係を期待しています。"
- Foshan SAPFIT Technology Co. Ltd -
