真空蒸着用の安定した高速ガスフロー制御

真空蒸着装置のエンドユーザーは、非常に高速に反応するガス供給システムを必要とします。エンドユーザーは、圧力やガスフローなどのプロセス条件を最適化し、コーティングプロセス中にコーティングの厚さを測定して結果をモニターします。コーティングの正しい厚みと組成を確保するためには、プロセス中に安定した制御されたガスフローが存在する必要があります。

スパッタシステムは、膜厚や透明度がずれていることを検知すると、ガス流量を調整することで成膜プロセスを修正する。従って、150ミリ秒レンジの応答で非常に高速な流量制御が望まれます。ブロンコストFLEXI-FLOWマスフローコントローラはこれが可能です。入口圧力に変動がある場合、ガスフローコントローラは可能な限り応答性良く流量を設定値に維持します。リアクターチャンバーに変化があった場合、流量コントローラーは新しい設定値を受け取ります。このように、新しいセットポイントへの迅速な応答は、廃棄物や不合格品の減少につながります。

シャットオフ機能

シャットオフバルブは、真空引きの段階で真空チャンバーへのリークを最小限に抑えるために組み込むことができます。

広いダイナミック・レンジ

少なくとも1:1000の高いターンダウン比を持つ大きなダイナミックフローレンジは、必要なモデルやスペアパーツの数を減らし、真空蒸着装置の柔軟性を向上させます。

通信インターフェース

コンパクトなマルチチャンネルソリューションは、EtherNet、EtherCAT、PROFINETのような産業用プロトコルを利用し、ゲートウェイを介したインターフェースを選択できます。このようにして生成されたデータは、予知保全に使用することができます。