フローメーター/コントローラーのサービス間隔を長くする
その設計上、サーマルマスフローメータやコントローラは汚染に敏感です。
従って、計器に流入するガスがクリーンであることを保証することが極めて重要です。計器のインレットに取り付けられたインライン・フィルター・アセンブリは、この保護機能を提供し、サービスインターバルを延長し、計器が指定された精度を維持することを保証します。
フィルターアセンブリには316L焼結金属カートリッジが含まれており、一般的な濾過に適しており、適切な溶剤を使って洗浄することができます。ガス中に微粒子が多く含まれる場合は、プレフィルターの使用を推奨します。
フィルター選択
高流量フィルターは、1/2 "メスネジの機器への取り付けに適し ており、超低流量フィルターには⅛接続部があります。ΔPは250~500mbar以下、気孔率は5μm以下が望ましい。インラインフィルターのΔPは、ネット上のオンライン計算ツールFLUIDATで計算できます。
製品紹介
技術仕様
技術仕様は予告なく変更される場合があります。