アダムが説明する：EL-FLOW Prestige
解説ビデオ
このシリーズのイン＆アウトについてもっと知りたいですか？同僚のアダムがこのビデオでそのすべてをお話しします。
技術仕様
流体のタイプ
ガス
流量測定原理
Thermal
シリーズ範囲
0.014 mln ～ 100 ln/min 用
精度
±0.5% Rd + ±0.1% FS (によると SEMI E56)
繰り返し性
<±0.2% Rd（または<±0.04% FSのいずれか大きい方）
最大 最大圧力 bar(g)
100
運転温度
-10…+70°C
侵入保護
IP40
EL-FLOW Prestige モデル
最高のセンサー安定性と精度を保証するハイエンドモデル。オンボードガス変換モデルを搭載し、100種類のユニークなガスを選択可能なガスデータベースを含む。
