EL-FLOW プレステージ：ハイエンドガスフローコントローラー

アダムが説明する：EL-FLOW Prestige

解説ビデオ
このシリーズのイン＆アウトについてもっと知りたいですか？同僚のアダムがこのビデオでそのすべてをお話しします。

技術仕様

流体のタイプ

ガス

流量測定原理

Thermal

シリーズ範囲

0.014 mln ～ 100 ln/min 用

精度

±0.5% Rd + ±0.1% FS (によると SEMI E56)

繰り返し性

<±0.2% Rd（または<±0.04% FSのいずれか大きい方）

最大最大圧力 bar(g)

100

運転温度

-10…+70°C

侵入保護

IP40

EL-FLOW Prestige モデル

最高のセンサー安定性と精度を保証するハイエンドモデル。オンボードガス変換モデルを搭載し、100種類のユニークなガスを選択可能なガスデータベースを含む。

モデルを探す

FG-110C

ガス用高性能マスフローメータ

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.18...9 ml_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-110CP

圧力に影響されないガス用質量流量計

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.18...9 ml_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-111AC

ガス用高性能マスフローメータ

最小 0.4...20 l_n/min

最大 2...100 l_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-111B

ガス用高性能マスフローメータ

最小 0.14...7 ml_n/min

最大 0.4...20 l_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-111BP

圧力に影響されないガス用質量流量計

最小 0.14...7 ml_n/min

最大 0.4...20 l_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-200CV

ガス用高性能マスフローコントローラ

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.18...9 ml_n/min

64 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-200CVP

圧力に影響されないガス用質量流量コントローラー

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.18...9 ml_n/min

10 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-201AV

ガス用高性能マスフローコントローラ

最小 0.4...20 l_n/min

最大 2...100 l_n/min

64 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-201CS

シャットオフバルブ内蔵高性能マスフローコントローラ

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.4...20 l_n/min

64 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-201CSP

統合シャットオフバルブ付き圧力に影響されない質量流量コントローラー

最小 0.14...7 ml_n/min

最大 0.4...20 l_n/min

10 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-201CV

ガス用高性能マスフローコントローラ

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.4...20 l_n/min

64 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-201CVP

圧力に影響されないガス用質量流量コントローラー

最小 0.14...0.7 ml_n/min

最大 0.4...20 l_n/min

10 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-210CV

ガス用高性能マスフローコントローラ

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.18..9 ml_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-210CVP

圧力に影響されないガス用質量流量コントローラー

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.18...9 ml_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-211AV

ガス用高性能マスフローコントローラ

最小 0.4...20 l_n/min

最大 2...100 l_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-211CV

ガス用高性能マスフローコントローラ

最小 0.014...0.7 ml_n/min

最大 0.4...20 l_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

FG-211CVP

圧力に影響されないガス用質量流量コントローラー

最小 0.14...0.7 ml_n/min

最大 0.4...20 l_n/min

100 bar(g)

ダウンロード＆仕様

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取扱説明書

PDF

Manual EL-FLOW Prestige (9.17.084)

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Manual RS232 interface with ProPar protocol(9.17.027)

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Quick Start Guide EL-FLOW Prestige (9.17.190)

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配線図

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Hook Up Diagram Lab MBC3 RS232 Analog (9.16.119)

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Hook Up Diagram Lab MBC3 Canopen (9.16.217)

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Hook Up Diagram Lab MBC3 Devicenet (9.16.122 )

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Hook Up Diagram Lab MBC3 Ethercat (9.16.124)

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Hook Up Diagram Lab MBC3 Ethernet IP (9.16.215)

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Hook Up Diagram Lab MBC3 FLOW BUS (9.16.120)

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Hook Up Diagram Laboratory Style MBC Profibus (9.16.061)

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Hook Up Diagram Lab MBC3 Modbus (9.16.123)

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Hook Up Diagram Lab MBC3 Modbus TCP (9.16.234)

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Hook Up Diagram multibus instruments lab-style Optional Bus And IO Configurations (9.16.118)

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Hook Up Diagram Lab MBC3 POWERLINK (9.16.236)

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Hook Up Diagram Lab MBC3 PROFIBUS DP (9.16.121)

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Hook Up Diagram Lab MBC PROFINET (9.16.147)

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