マスフローコントローラー

MFC はまず、アプリケーションに応じて、thermal Coriolis内蔵センサーを用いて流量を測定する。この測定値は、セットポイント（所望の流量）と比較される。測定された流量が逸脱した場合、MFC は設定された流量を維持するために内部の制御バルブを自動的に調整します。

マスフローコントローラは、流量を継続的に監視・調整し、正確な制御を維持するためにリアルタイムで調整を行います。この測定、制御バルブ、フィードバック電子回路（PID制御）の組み合わせにより、気体および液体アプリケーションにおける安定性と精度が保証されます。流量調整は、電圧、電流、またはデジタル信号を介して電子的に行うことができます。

マスフローコントローラは、気体または液体の流量を正確かつリアルタイムに制御する必要があるプロセスに信頼性の高いソリューションを提供し、システムの信頼性と効率を高めます。