MOCVDアプリケーションにおける流量制御

MOCVDプロセスの品質向上、ひいてはLEDの出力向上を図るため、ブロンコストはEL-FLOW Metal Sealed流量計をMOCVD装置への組み込み用に供給しています。

これらのコントローラは、プロセス安定性に極めて重要な水素キャリアガスの流量を調節します。流量はLED部品の堆積速度に直接影響するため、精密な制御が不可欠です。

本アプリケーションでは、20 sccmを扱う小型ユニットから20 slmを管理する大型ユニットまで、様々なサイズのEL-FLOWコントローラが使用されています。金属対金属シール設計により信頼性の高い再シールが保証され、高品質な表面仕上げは半導体および太陽電池製造の厳しい基準を満たしています。

さらに、EL-PRESS Metal Sealed圧力コントローラもシステム構成の一部です。これらの装置を使用することで、プロセス条件の変化に素早く応答する安定した水素流量が得られ、一貫した性能とプロセス制御の向上を実現します。

ブロンコストは校正と修理を提供するフルサービスオフィスを運営しています。また、お客様の最適な機器使用法に関するアドバイスやプロセス改善のヒントを共有するため、現地訪問も行っています。このレベルのサポートは競合他社には見られません。