유량계/컨트롤러의 평균 사용 수명 개선
가스용 열식 질량 유량계/컨트롤러는 구조상 오염에 민감합니다. MTBF(Mean Time Between Failure) 개선을 위해서는 유량계로 유입되는 가스가 깨끗한지 확인하는 것이 중요합니다. 유량계 입구측에 설치되는 IN-LINE 필터가 이러한 서비스를 제공합니다. 316L 소결 금속 필터 카트리지를 포함하고 있어 일반적인 여과에 적합하며 적절한 용매로 세척할 수 있습니다. 가스에 다량의 파티클이 포함된 경우 IN-LINE 필터의 사용을 권장합니다.
필터 선정
입구 측 1/4" female 유량계/컨트롤러의 경우, 저유량 혹은 중유량 필터를 선택합니다. 대유량 필터는 1/2" female 유량계/컨트롤러에 적합합니다. 초 저유량 필터는 1/8" 커넥션 입니다. 원칙적으로 낮은 ΔP(250 ~ 500 mbar), 5μm 사이즈 이하의 경우 포어 사이즈가 작은 필터를 선택합니다. IN-LINE 필터의 ΔP는 당사의 온라인 계산 도구인 FLUIDAT을 참고하여 확인이 가능합니다.