FLOW-SMS - 질량 유량계 / 압력계 / 컨트롤러 표면 마운트 하위 시스템

OEM 응용을 위한 공간/비용 절량 솔루션

컴팩트하고 가벼우면서, 견고한 마운팅 레일 시스템에서 하나 이상의 질량 유량계 혹은 압력 센서 모듈을 고객의 요청에 따라 제어 밸브, shut-off 밸브, 혼합 챔버, 필터 혹은 다른 기능성 모듈과 결합할 수 있습니다. 유량 센서의 범위는 약 5 ml_n/min에서 최대 50 l_n/min 이상 선택할 수 있습니다. 압력 센서가 포함된 경우 압력 범위는 0-100 mbar 및 0-10 bar 절대 압력 혹은 게이지 압력 중에서 선택 가능합니다.

특징

컴팩트하고 공간 효율적인 조립
경제적인 솔루션
파이프가 없는 구조로 잠재적 누출 포인트 감소
서비스 친화적; 상단에서 쉽게 접근 가능 (탑 마우느 기능 모듈)
시스템 확장 혹은 수정에 대한 뛰어난 유연성
사전 테스트 된 "Plug and Play" 장치
아날로그 및 디지털 통신 (RS232, CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUS)

Multi-channel Mass Flow Controller with Gateway

응용 분야

FLOW-SMS 시리즈는 다음과 같은 다양한 시장에서 큰 잠재력을 가지고 있습니다.

진공, 플라즈마, 스퍼터 및 코팅 공정
반도체 및 태양 전지 생산
촉매 테스트
버너 제어 (용접)
생명공학 및 화학 설비
식품 및 음료 공정

가능한 모든 솔루션에 적합하므로 가까운 대리점(contact our nearest distributor)에 연락하셔서 응용 분야에 대해 함께 논의하는 것을 권장합니다.

Downloads

Brochures
FLOW-SMS brochure

Manuals
Manual FLOW-SMS
Operating instructions digital instruments
Manual shut-off control adapter

Hook-up diagrams
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations
Shut-off valve control adapter

Dimensional drawings
Dimensions FLOW-SMS
Dimensions Digital Cases