Bronkhorst

EL-FLOW Select F-200CV

가스용 디지털 열 질량 흐름 컨트롤러

  • 초저유량 흐름
  • 컴팩트 디자인, 작은 내부 볼륨
  • 높은 정확도 & 재연성
  • 압력 및 온도와 거의 무관함
Get a quote 다운로드 Datasheet
EL-FLOW Select F-200CV

(초)저유량을 위한 가스용 질량 흐름 컨트롤러

브롱호스트 모델 F-200CV 질량 흐름 컨트롤러(MFC)는 진공과 64bar 사이의 압력에서 0,014…0,7 mln/min 및 0,6…9 mln/min 사이의 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는데 적합합니다. MFC는 열 질량 흐름 센서(thermal mass flow sensor)와 정밀한 제어 밸브 및 필드버스 변환 기능이 있는 마이크로프로세서 기반의 PC-Board로 구성됩니다. 설정값을 입력함으로써, 흐름 컨트롤러 원하는 유량을 신속하게 조정합니다.
 

EL-FLOW® Select 시리즈는 디지털 PC-board를 탑재하여 높은 정확도와 우수한 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 메인 디지털 PC-board에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 계측기는 표준 RS-232 출력 외에도 아날로그 I/O을 제공합니다. 옵션으로 On-board 인터페이스를 탑재하여 통신 프로토콜(CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUS)을 제공합니다.


기술 정보

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available)min. 0,014…0,7 mln/min
max. 0,18…9 mln/min
(based on N2)
정확도 (선형도) (실제 검교정 기반)±0,8% Rd plus ±0,2% FS F-200CV-005;
±2% FS for F-200CV-002
Repeatability< 0,2 % RD
Turndown ratioup to 1:187,5 (1:50 in analog mode)
Multi fluid capabilityStorage of max. 8 calibration curves
Settling time (in control, typical)2 … 4 sec.
Control stability≤ ± 0,1 % FS
Operating temperature-10 … +70 °C
Temperature sensitivityzero: < 0,05% FS/°C; span: < 0,05% Rd/°C
Pressure sensitivity< 0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
Max. Kv-value6,6 x 10-2
Leak integrity, outboardtested < 2 x 10-9 mbar l/s He
Attitude sensitivitymax. error at 90° off horizontal 0,2% at 1 bar, typical N2
Warm-up time30 min. for optimum accuracy
2 min. for accuracy ± 2% FS
Mechanical parts
Material (wetted parts)Stainless steel 316L or comparable
Pressure rating (PN)64 bar abs
Process connectionscompression type or face seal (VCR/VCO) couplings
Sealsstandard: FKM/Viton®;
options: EPDM, FFKM/Kalrez®, FDA and USP Class VI approved compounds
Weight0,6 kg
Ingress protectionIP40
Electrical properties
Power supply+15 … 24 Vdc
Max. power consumption
Supply
15 V
24 V
at voltage I/O
290 mA
200 mA
at current I/O
320 mA
215 mA
extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA
아날로그 출력0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digital communicationstandard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS
Electrical connection
아날로그/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out)
Control valve options
External actuator options to be connected to the controller
Certification for hazardous areas
Approvals / certificates

Technical specifications subject to change without notice.

도면 및 배선연결 정보 제품 페이지 우리의 웹사이트

Downloads

Brochures
EL-FLOW Select brochure
EL-FLOW Select flow range table
Manuals
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select
Hook-up diagrams
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations
Dimensional drawing
Dimensional drawing F-200CV-F-210CV-F-200DV
Dimensions Digital Cases
Dimensions Adapters
Solids 3D
F-200CV EL-FLOW


BRONKHORST KOREA Co. Ltd

경기도 화성시 동탄순환대로 830 SK
V1 Center 209호
대표자 : 헨드리크제지너스타펠
사업자등록번호 : 119-86-74469

           Social Responsibility
Copyright © 2024 Bronkhorst. All rights reserved.     Sitemap     Disclaimer     Privacy note