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EL-FLOW Select F-220M

고압용 가스 질량 흐름 컨트롤러

  • 높은 정확도, 높은 재연성
  • 빠른 반응시간
  • 운용 압력 / delta-P(차압) 최대 200 bar
  • 컴팩트 디자인
  • 압력 및 온도와 거의 무관함
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EL-FLOW Select F-220M

높은 압력 / 높은 차압을 위한 가스용 질량 흐름 컨트롤러

브롱호스트 모델 F-220M 질량 흐름 컨트롤러(MFCs)는 최대 200bar의 차압뿐만 아니라 구동압력 최대 200bar 까지의 압력에서 0,2…10 mln/min 및 3…15 mln/min 사이의 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는데 적합합니다. MFC는 열 질량 흐름 센서(thermal mass flow sensor)와 정밀한 제어 밸브 및 필드버스 변환 기능이 있는 마이크로 프로세서 기반의 PC-Board로 구성됩니다. 설정값을 입력함으로써, 흐름 컨트롤러는 원하는 유량을 신속하게 조정합니다.
 

EL-FLOW® Select 시리즈는 디지털 PC-Board를 탑재하여 높은 정확도와 우수한 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 메인 디지털 PC-Board에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 계측기는 표준 RS-232 출력 외에도 아날로그 I/O을 제공합니다. 옵션으로 On-board 인터페이스를 탑재하여 통신 프로토콜 (CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUS)을 제공합니다.


기술 정보

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available)min. 0,2…10 mln/min
max. 0,3…15 mln/min
(based on N2)
정확도 (선형도) (실제 검교정 기반)± 0,5 % RD plus ±0,1% FS
Repeatability< 0,2 % RD
Turndown ratio1:50
Multi fluid capabilityStorage of max. 8 calibration curves
Settling time (in control, typical)typical 2 sec.
Control stability< ± 0,1 % FS
Operating temperature-10 … +70 °C
Temperature sensitivityzero: < 0,05% FS/°C; span: < 0,05% Rd/°C
Pressure sensitivity< 0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
Max. Kv-value1,5 x 10-3
Leak integrity, outboardtested < 2 x 10-9 mbar l/s He
Attitude sensitivitymax. error at 90° off horizontal 0,2% at 1 bar, typical N2
Warm-up time30 min. for optimum accuracy
2 min. for accuracy ± 2% FS
Mechanical parts
Material (wetted parts)Stainless steel 316L or comparable
Pressure rating (PN)200 bar abs
Min. ΔP2 bar dif.
Max. ΔP200 bar dif.
Process connectionscompression type or face seal (VCR/VCO) couplings
SealsViton®
Weight0,9 kg
Ingress protectionIP40
Electrical properties
Power supply+15 … 24 Vdc
Max. power consumption
Supply
15 V
24 V
at voltage I/O
290 mA
200 mA
at current I/O
320 mA
215 mA
extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA
아날로그 출력0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digital communicationstandard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS
Electrical connection
아날로그/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out)
Control valve options
External actuator options to be connected to the controller
Certification for hazardous areas
Approvals / certificates

Technical specifications subject to change without notice.

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Manual EL-FLOW Select
Hook-up diagrams
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DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations
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Dimensional drawing F-220M
Dimensions Digital Cases
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