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실제 반응성 스퍼터링
물리적 기상 증착(PVD) 스퍼터링 또는 반응성 스퍼터링은 스퍼터링 입자가 스퍼터링 챔버에 도입된 기체와 반응하는 층 증착 기술입니다.
고에너지 아르곤을 금속(예: 알루미늄)에 적용하여 스퍼터링된 금속 입자의 증기를 방출합니다. 이 입자들은 공급된 반응성 가스와 반응하여 유리, 실리콘 웨이퍼, 금속 또는 폴리머에 매우 얇은 세라믹 층을 증착할 수 있습니다. 반응성 스퍼터링은 반사 방지, 경화, 마모 방지 등을 위한 코팅을 적용하는 데 사용됩니다.
애플리케이션 요구 사항
진공 증착 기술에서는 빠른 흐름 제어가 필수적입니다. 매초마다 시간과 에너지를 절약하여 증착 장비의 효율을 높일 수 있습니다. 가스 흐름은 품질을 유지하기 위해 재현 가능한 방식으로 장기간 안정적으로 넓은 동적 유량 범위를 공급해야 합니다.
중요 주제
중요 주제
빠른 응답 흐름 제어
차단 기능
넓은 다이나믹 레인지
커뮤니케이션 인터페이스
재현성 및 장기 안정성
프로세스 솔루션
FLEXI-FLOW Compact 질량 유량 컨트롤러는 오버슈트 없이 응답 시간이 150msec에 이릅니다. 따라서 차단 기능과 함께 안정적이고 빠른 유량 제어를 제공하는 다중 채널 유량 솔루션을 필요로 하는 진공 코팅 고객의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
질량 유량 컨트롤러 6개를 사용한 공정 방식 예시. 진공 챔버로의 매우 낮은 누출률을 보장하기 위해 차단 밸브가 구현되었습니다
빠른 응답 흐름 제어
진공 증착 장비의 최종 사용자는 매우 빠르게 반응하는 가스 공급 시스템을 필요로 합니다. 이러한 시스템은 압력 및 가스 흐름과 같은 공정 조건을 최적화하고 코팅 공정 중에 코팅 두께를 측정하여 결과를 모니터링합니다. 코팅의 정확한 두께와 조성을 보장하려면 공정 중에 안정적이고 제어된 가스 흐름이 존재해야 합니다.
스퍼터 시스템은 두께나 투명도가 편차되는 것을 관찰하면 가스 흐름을 조정하여 증착 공정을 보정합니다. 따라서 150밀리초 범위의 응답으로 매우 빠른 흐름 제어가 필요합니다. 브론호스트 FLEXI-FLOW 질량 유량 컨트롤러가 이를 수행할 수 있습니다. 유입구 압력에 변화가 있는 경우 가스 유량 컨트롤러는 유량을 가능한 한 설정값으로 유지합니다. 반응기 챔버에 변화가 생기면 유량 컨트롤러는 새로운 설정값을 수신합니다. 이렇게 하면 새로운 설정값에 빠르게 반응하여 낭비를 줄이고 불량품을 줄일 수 있습니다.
차단 기능
차단 밸브를 통합하여 진공 단계에서 진공 챔버로의 누출을 최소화할 수 있으며, 특히 초고진공 원자로에서 유용합니다.
넓은 다이나믹 레인지
최소 1:1000의 높은 턴다운 비율로 동적 유량 범위가 넓어 필요한 모델과 예비 부품의 수를 줄이고 진공 증착 장비의 유연성을 향상시킵니다.
커뮤니케이션 인터페이스
게이트웨이를 통해 원하는 인터페이스를 선택할 수 있는 소형 멀티채널 솔루션은 EtherNet, EtherCAT 및 PROFINET과 같은 산업용 프로토콜을 사용합니다. 이렇게 생성된 데이터는 예측 유지보수에 사용할 수 있습니다.
"브롱크호스트의 FLEXI-FLOW Compact 덕분에 진공 증착 장비에서 일관되고 안정적인 가스 흐름 제어를 달성하여 폐기물을 크게 줄이고 제품 품질을 개선할 수 있었습니다."
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