아담이 설명합니다: EL-FLOW Prestige

설명 동영상
이 시리즈에 대해 자세히 알고 싶으신가요? 이 동영상에서 동료인 Adam이 모든 것을 알려드립니다.

기술 사양

시리즈 별 범위 텍스트

가스

유량 측정 원리

Thermal

시리즈 범위

0.014 mln - 100 ln/min

정확도

±0.5% Rd + ±0.1% FS (에 따르면 SEMI E56)

재현성

<±0.2% Rd(또는 <±0.04% FS 중 더 큰 값)

최대 운용 압력 bar(g)

100

작동 온도

-10…+70°C

IP 보호 등급

IP40

EL-FLOW Prestige 모델

최고의 센서 안정성과 최고의 정확도를 보장하는 하이엔드 모델. 고객이 선택할 수 있는 100가지 고유 가스에 대한 가스 데이터베이스를 포함한 온보드 가스 변환 모델이 탑재되어 있습니다.

모델 검색

FG-110C
가스용 고성능 질량 유량계

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0.18...9 mln/min

100 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-110CP
압력에 민감하지 않은 가스용 질량 유량계

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0.18...9 mln/min

100 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-111AC
가스용 고성능 질량 유량계

최소 0,4...20 ln/min

최대 2...100 ln/min

100 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-111B
가스용 고성능 질량 유량계

최소 0,14...7 mln/min

최대 0,4...20 ln/min

100 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-111BP
압력에 민감하지 않은 가스용 질량 유량계

최소 0,14...7 mln/min

최대 0,4...20 ln/min

100 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-200CV
가스용 고성능 질량 유량 컨트롤러

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0.18...9 mln/min

64 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-200CVP
압력에 민감하지 않은 가스용 질량 유량 제어기

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0.18...9 mln/min

10 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-201AV
가스용 고성능 질량 유량 컨트롤러

최소 0,4...20 ln/min

최대 2...100 ln/min

64 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-201CS
차단 밸브가 통합된 고성능 질량 유량 컨트롤러

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0,4...20 ln/min

64 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-201CSP
통합 차단 밸브가 포함된 압력에 민감하지 않은 질량 유량 제어기

최소 0.14...7 mln/min

최대 0.4...20 ln/min

10 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-201CV
가스용 고성능 질량 유량 컨트롤러

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0,4...20 ln/min

64 bar(g)

다운로드 & 사양
FG-201CVP
압력에 민감하지 않은 가스용 질량 유량 제어기

최소 0.14...0.7 mln/min

최대 0,4...20 ln/min

10 bar(g)

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FG-210CV
가스용 고성능 질량 유량 컨트롤러

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0,18...9 mln/min

100 bar(g)

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FG-210CVP
압력에 민감하지 않은 가스용 질량 유량 제어기

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0,18...9 mln/min

100 bar(g)

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FG-211AV
가스용 고성능 질량 유량 컨트롤러

최소 0,4...20 ln/min

최대 2...100 ln/min

100 bar(g)

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FG-211CV
가스용 고성능 질량 유량 컨트롤러

최소 0.014...0.7 mln/min

최대 0,4...20 ln/min

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FG-211CVP
압력에 민감하지 않은 가스용 질량 유량 제어기

최소 0.14...0.7 mln/min

최대 0,4...20 ln/min

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Embedded Gases EL-FLOW Prestige

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액세서리

엘플로우 프레스티지와 원활하게 작동하는 다양한 액세서리를 제공합니다.
Control valves

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다양한 가스, 액체 또는 압력 제어 애플리케이션용

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IN-LINE gas filters

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가스 및 액체 흐름 애플리케이션을 위한 소형 인라인 필터

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BRIGHT

BRIGHT

컴팩트한 로컬 판독 및 제어 모듈

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