기술 사양

시리즈 별 범위 텍스트

깨끗하고 건조한 가스, 필터 권장

유량 측정 원리

Thermal

시리즈 범위

0.2 - 500 ln/min의 경우

정확도

최대 용량의 50%를 초과하는 유량의 경우 ±2% Rd;
낮은 유량에서 ±(1% Rd + 0.5% FS)

재현성

<0.2% FS 일반

최대 운용 압력 bar(g)

10

작동 온도

0...50°C(32...122°F)

IP 보호 등급

IP40

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MV-101
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량계

최소 10...50 mln/min

최대. 10...200 mln/min

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MV-102
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량계

최소 20...200 mln/mn

최대. 20...2000 mln/min

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MV-104
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량계

최소 0.04...2 ln/min

최대. 0.2...20 ln/min

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MV-106
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량계

최소 0.4...20 ln/min

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MV-108
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량계

최소 1...50 ln/min

최대. 5...500 ln/min

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MV-191-H2
디스플레이가 통합된 수소 유량계

최소 20...50 mln/min

최대. 20...200 ln/min

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MV-191-HE
디스플레이가 통합된 수소 유량계

최소 20...50 mln/min

최대. 20...200 mln/min

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MV-192-H2
디스플레이가 통합된 수소 유량계

최소 50...100 mln/min

최대. 50...1000 mln/min

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MV-194-H2
디스플레이가 통합된 수소 유량계

최소 0.1...1 ln/min

최대. 0.1...10 ln/min

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MV-194-HE
디스플레이가 통합된 수소 유량계

최소 0.1...1 ln/min

최대. 0.1...10 ln/min

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MV-196-H2
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최소 0.2...10 ln/min

최대. 1...100 ln/min

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MV-196-HE
디스플레이가 통합된 수소 유량계

최소 0.2...10 ln/min

최대. 1...100 ln/min

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MV-302
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량 조절기

최소 20...200 mln/min

최대. 20...2000 mln/min

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MV-304
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량 조절기

최소 0.04...2 ln/min

최대. 0.2...20 ln/min

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MV-306
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량 조절기

최소 0.4...20 ln/min

최대. 2...200 ln/min

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MV-308
디스플레이가 통합된 가스용 질량 유량 조절기

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최대. 20...200 ln/min

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디스플레이가 통합된 수소 유량계

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최대. 50...1000 mln/min

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MV-392-HE
디스플레이가 통합된 헬륨 유량 조절기

최소 50...200 mln/min

최대. 50...2000 mln/m

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MV-394-H2
디스플레이가 통합된 수소 유량계

최소 0,1...1 ln/min

최대. 0.1...10 ln/min

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MV-394-HE
디스플레이가 통합된 헬륨 유량 조절기

최소 0.1...1 ln/min

최대. 0.1...10 ln/min

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MV-396-H2
디스플레이가 통합된 수소 유량계

최소 0.2...10 ln/min

최대. 1...100 ln/min

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MV-396-HE
디스플레이가 통합된 헬륨 유량 조절기

최소 0,2...10 ln/min

최대. 1...100 ln/min

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MV-401
압력 보정 및 통합 디스플레이가 있는 가스용 질량 유량 조절기

최소 10...50 mln/min

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MV-402
압력 보정 및 통합 디스플레이가 있는 가스용 질량 유량 조절기

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