실시간 압력 및 온도 보정을 통한 유량 제어 최적화

다양한 외부 요인이 질량 유량 컨트롤러의 측정 정확도와 제어 안정성에 영향을 미칠 수 있습니다. 그렇다면 압력 및 온도 제어에서 가장 일반적인 문제는 무엇일까요? 그리고 이를 어떻게 해결할 수 있을까요?
실시간 압력 및 온도 보정이 해답이 될 수 있습니다. 브롱크호스트의 가스 유량 기술 관리자로서 저는 공정의 효율성과 수율을 높이려면 안정적인 가스 유량이 필요하다는 것을 잘 알고 있습니다. 이러한 가스 흐름은 열 질량 유량 컨트롤러로 측정하고 제어할 수 있습니다.

이 블로그에서는 압력 및 온도 제어에서 발생할 수 있는 문제를 설명하고 실시간 압력 및 온도 보정을 사용하여 유량 제어를 최적화하는 방법에 대한 몇 가지 팁을 공유합니다.

정압 보정은 가스 실린더에서 천천히 감소하는 압력과 같이 느린 압력 변화에 대한 보정입니다. 온보드 변환 알고리즘과 함께 압력 트랜스미터를 질량 유량 컨트롤러에 통합하면 실제 유체 특성을 실시간으로 계산할 수 있습니다. 반열량 측정의 경우 밀도, 점도, 열전도도 및 열용량이 계산에 사용됩니다. 이러한 특성은 압력과 온도의 영향을 받아 변화합니다. 따라서 실제 온도와 압력을 측정하고 처리하여 정확한 유량 측정과 제어 안정성을 확보할 수 있습니다.

동적 압력 보정은 급격한 압력 변화에 대한 보상입니다. 이는 동일한 공급 라인에서 유량이 더 많은 질량 유량 컨트롤러가 설정값을 변경할 때 발생할 수 있으며, '크로스 토크'라고도 하는 원치 않는 효과입니다. 이러한 급격한 압력 변화가 압력 센서에 의해 식별되는 순간 밸브 제어가 그에 따라 조정되어 유량이 안정적으로 유지됩니다.

온보드 변환 알고리즘을 통해 저장된 캘리브레이션 유체를 100가지 온보드 가스 중 하나로 변환할 수 있습니다(다중 유체 다중 범위 기능).

실제 측정된 온도와 압력은 온보드 변환 모델에서 공정 조건의 변화를 보정하는 데 사용됩니다. 이를 통해 보다 안정적이고 정확한 변환 및 제어 안정성을 확보할 수 있습니다.

1.첫째, 개선되고 정확한 유량 측정 및 제어로 인해 보다 최적화되고 일정한 공정 조건이 가능하여 공정 수율이 향상됩니다.

2. 둘째, 주문한 공정 조건을 정확히 제공하거나 충족할 필요가 없으므로 설치가 용이합니다.

3. 셋째, 공급 라인의 압력이 기기의 정확도와 제어 안정성에 덜 중요해지기 때문에 공급 라인의 구성 요소의 정확도가 떨어지거나 구성 요소를 줄여야 합니다. 이를 통해 예를 들어 압력 레귤레이터의 비용을 절감할 수 있습니다.