열 질량 유량계가 하는 일을 상상해 보세요: 이 장치는 극소량의 열을 사용하여 가스나 액체의 낮은 질량 유량을 측정합니다!
열 질량 유량계에 대해 자세히 알아보세요:
열 질량 유량 측정이란 무엇인가요?
열 질량 유량 측정이란 무엇인가요?
질량 유량이란 무엇인가요?
유체의 열 특성과 질량 간의 직접적인 관계는 온도나 압력의 변화와 같은 다양한 공정 조건의 영향을 받지 않는 질량 유량을 측정할 수 있다는 장점이 있습니다. 지식 베이스를 방문하여 질량 유량과 체적 유량의 관계에 대해 자세히 알아보세요. 화학 반응과 같은 많은 생산 및 R&D 프로세스에서는 부피가 아닌 질량이 중요한 변수입니다.
열 용량
열 질량 유량 측정은 비열 용량과 같은 유체의 열 특성에 의존합니다. 액체 또는 기체의 비열 용량은 해당 유체의 특징적인 물질적 특성입니다. 특정 양의 열 에너지가 유체에 흡수될 때 해당 유체의 온도 상승을 섭씨 단위로 정의합니다. 유체의 질량과 관련이 있습니다. 2그램의 유체는 1그램의 동일한 유체보다 두 배의 열을 흡수할 수 있습니다. 이는 움직이는 유체뿐만 아니라 정적인 유체에도 적용되므로 액체 또는 기체의 흐름이 적은 경우에도 마찬가지입니다. 열 질량 유량 측정은 흐르는 질량(초당 그램 단위)과 적용된 전력(초당 열 줄 단위)을 비열 용량(섭씨 1도당 그램당 줄 단위) 및 열로 인한 온도 차이(섭씨)와 비례 요소로 연관시키는 이 기본 물리적 원리를 매우 간단하게 사용합니다.
교정이 필요한 이유는 무엇인가요?
열 질량 유량계의 측정 원리는 열 전달을 기반으로 하며 유체의 밀도 및 비열 용량에 따라 달라집니다. 따라서 열 질량 유량계는 특정 유체에 대해 보정해야 합니다.
열 질량 유량계의 센서 원리 3가지 유형
따라서 열 질량 유량계는 유체의 열적 특성을 사용하여 질량 유량을 측정(또는 '감지')합니다. 실제로는 어떻게 작동할까요? 센서 원리는 크게 세 가지로 구분할 수 있습니다:
- 유량의 비례적인 일부가 유량 제한을 통과하는바이패스 원리를 사용하는 가스용 열 질량 유량 센서입니다.
- 주 유량 채널에서 직접 측정하는인라인 원리 (CTA)를사용하는 기체용 열 질량 유량 센서입니다.
- 인라인 원리 (CTA/CPA)를사용하는 액체용 열 질량 유량 센서.
MEMS 기반 열 질량 유량계에 대해 자세히 알아보기
또한 칩 기반 센서를 사용하는 가스용 열 질량 유량계도 사용할 수 있습니다. 가스 유량이 이러한 센서와 만나는 브롱크호스트 FLEXI-FLOW 장치에는 MEMS 기술(마이크로 일렉트로 기계 시스템)이 통합되어 있습니다. FLEXI-FLOW 장치는 질량 유량 외에도 가스의 온도와 압력도 측정할 수 있습니다. 초소형 MEMS 기반 IQ+FLOW 장치는 좁은 공간에서 사용하기에 이상적입니다.
열 질량 유량계 또는 컨트롤러
열 질량 유량계는 공급되는 가스 또는 액체의 질량 유량을 정확하고 반복적으로 제어하기 위해 유량계에 통합 또는 밀접 결합 제어 밸브를 추가하여 질량 유량 컨트롤러로 변환할 수 있습니다.
