열 질량 유량계
Thermal mass flow meters 가열 요소와 온도 센서를 조합하여 가스의 질량 유량을 측정하며, 열역학적 원리를 사용하여 실제 유량을 도출합니다. 온도, 압력 또는 밀도 변화에 대한 보정이 제한적이며 특히 저유량 및 초저유량을 측정할 때 매우 정확합니다.

그림 1: 층류 요소, LFE
층류 요소; 중요한 요소
그림 1에서 볼 수 있는 층류 요소는 바이패스 원리를 기반으로 하는 열 질량 유량계의 핵심 구성 요소입니다. 층류 요소(LFE)의 기능은 션트를 생성하는 것입니다. bypass principle 기반한 열 질량 유량계의 경우 질량 유량은 주 유량 채널의 바이패스에서 측정됩니다. LFE의 특정 치수로 인해 모세관 센서 튜브와 동일한 선형 압력/유량 특성을 생성할 수 있습니다.
정밀한 표준에 따라 에칭된 얇은 적층판을 사용하여 층류 요소를 만들고 매우 작은 유량에서 중간 유량(1mln/min 미만에서 최대 20ln/min)을 측정할 수 있습니다. 바이패스는 내경이 0.2mm인 모세관 튜브이며, 이 작은 크기 덕분에 작은 튜브 부피만 가열하면 되기 때문에 빠른 응답 시간과 낮은 에너지 요구량을 제공합니다.
is described in this blog 층류의 중요성과 난류와의 차이점에 대해 설명합니다.

그림 2: 층류 요소(LFE)의 션트 원리; 가스 흐름의 일부만 센서를 통해 흐릅니다. 나머지 흐름은 LFE를 통해 흐릅니다.
케미컬 에칭 금속 부품으로 업계 최고의 제품 만들기
제조업체가 업계를 선도하는 제품을 만들기 위해서는 제품 및 부품의 소형화가 필수적입니다. LFE의 플로우 디스크에는 초정밀 부품을 위한 감산 제조 방법인 화학적 에칭 공정을 적용합니다.
화학적 에칭
화학적 에칭(광화학 가공(PCM) 및 화학 밀링이라고도 함)은 빠르고 경제적이면서도 정밀합니다. 고가의 툴링이나 기계 없이도 복잡한 다단계, 다중 기능, 고정밀 부품을 생산할 수 있습니다. CNC 가공, 스탬핑, 프레스, 와이어 에로젼과 같은 '전통적인' 기계 공정과 레이저 절단 및 전기 화학 가공과 같은 '현대적인' 공정에 비해 유연한 툴링과 확장성을 갖춘 케미컬 에칭은 프로토타입 제작에서 대규모 생산에 이르기까지 매우 경쟁력 있는 대안을 제공합니다. 도면으로부터 단 며칠 만에 신속한 프로토타입을 제작할 수 있습니다.
주요 이점
주요 이점
스트레스와 버가 없는 부품
마이크론 크기의 기능
엄격한 허용 오차
다양한 소재
25um ~ 2mm의 두께
둥근 구멍, 날카로운 모서리, 직선 또는 프로파일 모서리
신속한 프로토타이핑
비용 효율적인 제조
손쉬운 수정이 가능한 유연한 툴링
일반적인 가스 유량 측정
유량 측정은 온도, 압력 및 레벨 측정과 함께 '반드시 알아야 하는' 프로세스 파라미터 중 하나로 인식되고 있습니다. 가스의 정확한 질량 유량 측정은 많은 산업 및 실험실 공정의 운영과 제어에 매우 중요합니다.
food and beverage ( ), chemical 산업 및 반도체 제조 분야에서 유량계의 정확도는 종종 최적의 품질과 불량품의 차이를 결정하는 요소입니다. laboratory research, 파일럿 플랜트 및 상거래와 같은 분야에서도 정확하고 반복 가능한 측정은 매우 중요합니다.
EL-FLOW 프레스티지 질량 유량계
EL-FLOW Prestige 열 가스 유량계는 브론호스트 가스용 질량 유량계/컨트롤러의 차세대 제품입니다. 거의 모든 핵심 구성 요소가 재설계되었으며 많은 개선 사항과 혁신이 통합되었습니다. 이 새로운 시리즈를 통해 브롱크호스트는 "차동 온도 밸런싱" 기술을 도입하여 탁월한 센서 안정성을 보장합니다. 브론크호스트가 작성한 '열 질량 유량계/컨트롤러의 최적 성능을 제공하는 구성 요소를 설계하기 위한 데이터 기반의 전체적인 관점' 백서에서 EL-FLOW 프레스티지에 통합된 혁신에 대해 설명하는 백서를 확인할 수 있습니다.

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