열 질량 유량계

Thermal mass flow meters 가열 요소와 온도 센서를 조합하여 가스의 질량 유량을 측정하며, 열역학적 원리를 사용하여 실제 유량을 도출합니다. 온도, 압력 또는 밀도 변화에 대한 보정이 제한적이며 특히 저유량 및 초저유량을 측정할 때 매우 정확합니다.

층류 요소, LFE

그림 1: 층류 요소, LFE

층류 요소; 중요한 요소

그림 1에서 볼 수 있는 층류 요소는 바이패스 원리를 기반으로 하는 열 질량 유량계의 핵심 구성 요소입니다. 층류 요소(LFE)의 기능은 션트를 생성하는 것입니다. bypass principle 기반한 열 질량 유량계의 경우 질량 유량은 주 유량 채널의 바이패스에서 측정됩니다. LFE의 특정 치수로 인해 모세관 센서 튜브와 동일한 선형 압력/유량 특성을 생성할 수 있습니다.

정밀한 표준에 따라 에칭된 얇은 적층판을 사용하여 층류 요소를 만들고 매우 작은 유량에서 중간 유량(1mln/min 미만에서 최대 20ln/min)을 측정할 수 있습니다. 바이패스는 내경이 0.2mm인 모세관 튜브이며, 이 작은 크기 덕분에 작은 튜브 부피만 가열하면 되기 때문에 빠른 응답 시간과 낮은 에너지 요구량을 제공합니다.

is described in this blog 층류의 중요성과 난류와의 차이점에 대해 설명합니다.

층류 요소(LFE)의 션트 원리; 가스 흐름의 일부만 센서를 통해 흐릅니다. 나머지 흐름은 LFE를 통해 흐릅니다.

그림 2: 층류 요소(LFE)의 션트 원리; 가스 흐름의 일부만 센서를 통해 흐릅니다. 나머지 흐름은 LFE를 통해 흐릅니다.

케미컬 에칭 금속 부품으로 업계 최고의 제품 만들기

제조업체가 업계를 선도하는 제품을 만들기 위해서는 제품 및 부품의 소형화가 필수적입니다. LFE의 플로우 디스크에는 초정밀 부품을 위한 감산 제조 방법인 화학적 에칭 공정을 적용합니다.

화학적 에칭

화학적 에칭(광화학 가공(PCM) 및 화학 밀링이라고도 함)은 빠르고 경제적이면서도 정밀합니다. 고가의 툴링이나 기계 없이도 복잡한 다단계, 다중 기능, 고정밀 부품을 생산할 수 있습니다. CNC 가공, 스탬핑, 프레스, 와이어 에로젼과 같은 '전통적인' 기계 공정과 레이저 절단 및 전기 화학 가공과 같은 '현대적인' 공정에 비해 유연한 툴링과 확장성을 갖춘 케미컬 에칭은 프로토타입 제작에서 대규모 생산에 이르기까지 매우 경쟁력 있는 대안을 제공합니다. 도면으로부터 단 며칠 만에 신속한 프로토타입을 제작할 수 있습니다.

주요 이점

01

스트레스와 버가 없는 부품

02

마이크론 크기의 기능

03

엄격한 허용 오차

04

다양한 소재

05

25um ~ 2mm의 두께

06

둥근 구멍, 날카로운 모서리, 직선 또는 프로파일 모서리

07

신속한 프로토타이핑

08

비용 효율적인 제조

09

손쉬운 수정이 가능한 유연한 툴링

일반적인 가스 유량 측정

유량 측정은 온도, 압력 및 레벨 측정과 함께 '반드시 알아야 하는' 프로세스 파라미터 중 하나로 인식되고 있습니다. 가스의 정확한 질량 유량 측정은 많은 산업 및 실험실 공정의 운영과 제어에 매우 중요합니다.

food and beverage ( ), chemical 산업 및 반도체 제조 분야에서 유량계의 정확도는 종종 최적의 품질과 불량품의 차이를 결정하는 요소입니다. laboratory research, 파일럿 플랜트 및 상거래와 같은 분야에서도 정확하고 반복 가능한 측정은 매우 중요합니다.

EL-FLOW 프레스티지 질량 유량계

EL-FLOW Prestige 열 가스 유량계는 브론호스트 가스용 질량 유량계/컨트롤러의 차세대 제품입니다. 거의 모든 핵심 구성 요소가 재설계되었으며 많은 개선 사항과 혁신이 통합되었습니다. 이 새로운 시리즈를 통해 브롱크호스트는 "차동 온도 밸런싱" 기술을 도입하여 탁월한 센서 안정성을 보장합니다. 브론크호스트가 작성한 '열 질량 유량계/컨트롤러의 최적 성능을 제공하는 구성 요소를 설계하기 위한 데이터 기반의 전체적인 관점' 백서에서 EL-FLOW 프레스티지에 통합된 혁신에 대해 설명하는 백서를 확인할 수 있습니다.

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