MOCVD 공정에서의 정밀 가스 유량 제어

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응용 요구 사항

수소 가스 공급에 유량 컨트롤러를 사용하면 MOCVD 공정을 개선하여 제품 품질을 향상시킬 수 있습니다. 이를 위해서는 안정적인 유량 조건과 설정 변경에 대한 유량 컨트롤러의 신속한 반응이 필요합니다.

중요 주제

수소 유량 제어의 정밀성과 안정성

metal-sealed 유량 및 압력 컨트롤러로 빠른 응답

종합 서비스 및 고객 지원

공정 솔루션

MOCVD 공정 품질 향상 및 결과적으로 LED 출력 향상을 위해, 브롱호스트는 MOCVD 장비에 통합할 수 있는 EL-FLOW metal-sealed 유량ㄱ를 공급합니다.

이 컨트롤러들은 공정 안정성에 매우 중요한 수소 운반 가스 유량을 조절합니다. 유량은 LED 부품의 증착 속도에 직접적인 영향을 미치므로 정밀한 제어가 필수적입니다.

이 응용에는 20 sccm을 처리하는 소형 유닛부터 20 slm을 관리하는 대형 유닛까지 다양한 크기의 EL-FLOW 컨트롤러가 사용됩니다. metal-to-metal seal 설계로 신뢰성 있는 재밀봉이 보장되며, 고품질 표면 마감은 반도체 및 태양광 제조의 까다로운 기준을 충족합니다.

또한 EL-PRESS Metal Sealed 압력 컨트롤러가 설정에 포함됩니다. 이러한 장치의 사용은 변화하는 공정 조건에 대한 빠른 응답과 함께 안정적인 수소 유량을 제공하여 일관된 성능과 향상된 공정 제어를 지원합니다.