MOCVD 공정에서의 유량 제어

MOCVD 공정의 안정성과 최종 LED 품질을 향상시키기 위해 브롱호스트는 EL-FLOW Metal Sealed 질량 유량 컨트롤러를 제공합니다.

수소는 MOCVD 공정에서 캐리어 가스로 사용되며, 유량 안정성은 박막 증착 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. 따라서 수소 유량을 정확하고 안정적으로 제어하는 것이 균일한 증착 속도와 일관된 공정 결과를 확보하는 핵심 요소입니다.

이 애플리케이션에서는 20 sccm부터 20 slm까지 다양한 유량 범위를 지원하는 EL-FLOW Metal Sealed 컨트롤러가 적용됩니다. 금속 대 금속(Metal-to-Metal) 씰 구조는 우수한 기밀성과 반복적인 유지보수 후에도 안정적인 씰링 성능을 제공하며, 고품질 표면 마감은 반도체 및 태양광 제조 공정의 엄격한 청정도 요구사항을 충족합니다.
또한 EL-PRESS Metal Sealed 압력 컨트롤러를 함께 적용하여 공정 압력을 정밀하게 제어할 수 있습니다.

이들 솔루션의 조합을 통해 변화하는 공정 조건에서도 수소 유량을 안정적으로 유지할 수 있으며, 빠른 응답 성능을 바탕으로 공정 안정성과 재현성을 향상시킬 수 있습니다. 결과적으로 안정적인 수소 공급, 향상된 공정 재현성, 그리고 일관된 LED 품질 확보를 지원합니다.

브롱호스트는 교정, 수리 및 기술 지원을 포함한 종합 서비스 솔루션을 제공합니다. 또한 현장 방문을 통해 장비의 최적 운용 방안을 제안하고 공정 개선을 위한 기술적 인사이트를 제공합니다. 이를 통해 고객은 장비 성능을 극대화하고 공정 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

브롱호스트의 전문적인 서비스 지원은 고객에게 안정적인 운영 환경과 높은 신뢰성을 제공합니다.