Voordelen van een Coriolis-sensor
De meeste MEMS-flowsensoren zijn gebaseerd op een thermisch meetprincipe. Aangetoond is dat dergelijke sensoren in staat zijn om zeer kleine vloeistofflows te meten (tot een paar nanoliter per minuut). Deze sensoren hebben het voordeel dat ze snel en zeer stabiel zijn. Een nadeel is dat ze voor elke nieuwe vloeistof opnieuw gekalibreerd moeten worden. Bij de Coriolis-flowsensoren (d.w.z. flowsensoren met een vibrerend buisje waarin een massflow blootgesteld wordt aan Coriolis-krachten) is dat opnieuw kalibreren niet nodig. De Coriolis-krachten zijn namelijk recht evenredig met de massflow en zijn onafhankelijk van de temperatuur, de druk, het flowprofiel en de vloeistofeigenschappen, aangezien Coriolis-flowsensoren de feitelijke massflow meten.
Coriolis-flowmeters worden meestal gebruikt voor het meten van grote debieten (>1 kilo per uur), omdat de relatief zwakke Coriolis-krachten kleine flows veel moeilijker kunnen detecteren. Om voldoende sensitiviteit te creëren om ultralage flows van minder dan 2 gram per uur te meten, moeten de afmetingen van de sensor en de dikte van de buiswanden tot een extreem minimum worden beperkt. Dat is met de conventionele productiemethode met roestvrij staal echter onmogelijk.
Hier komt de MEMS-technologie om de hoek kijken. In nauwe samenwerking met de Universiteit Twente hebben wij de 'surface channel technology' ontwikkeld. Hiermee kunnen buisjes worden geproduceerd met wanden van siliciumnitride met een 'dikte' van 1 micrometer. Zelfs met deze extreem dunne wanden blijven de buisjes dankzij het gebruikte materiaal mechanisch stabiel.