Bronkhorst

EL-FLOW Metal Sealed F-201CM

Metal Sealed Mass Flow Controller for Gases

  • Patented metal-to-metal seal construction ensures long-term leak tightness (to atmosphere)
  • Electropolished wetted parts
  • Cleanroom asembled
  • High accuracy, excellent repeatability
  • Multi Gas / Multi Range functionality (option)
  • Fast settling time (down to 600 msec)
Vraag offerte aan Downloads Ondersteuning
EL-FLOW Metal SealedF-201CM

Metal Seals Gas Massflowregelaars

Bronkhorst® model F-201CM Massflowregelaars (MFC’s), speciaal ontworpen om te voldoen aan de eisen van de semicon markt en andere zeer zuivere gastoepassingen. De instrumenten hebben een hoge oppervlaktekwaliteit en zijn modulair opgebouwd met metaal-op-metaal afdichtingen die een langdurige lekdichtheid garanderen. De F-201CM is geschikt voor het nauwkeurig meten van flowbereiken tussen 0,12…6 sccm up to 1…50 slm (gebaseerd op N2) bij een werkdruk tussen vacuüm en 1000 psig (64 bar). 
 
De EL-FLOW® Metal Sealed serie is uitgerust met een digitale printplaat, die een hoge nauwkeurigheid, uitstekende temperatuurstabiliteit en snelle respons biedt. De belangrijkste digitale printplaat bevat alle algemene functies die nodig zijn voor meting en controle. Naast de standaard RS232 uitgang bieden de instrumenten ook analoge I/O. Als optie kan een on-board interface worden gemonteerd voor CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus of FLOW-BUS protocollen. Het EL-FLOW® Metal Sealed-ontwerp is voorzien van optionele Multi Gas / Multi Range-functionaliteit, waardoor (OEM-)klanten optimale flexibiliteit en procesefficiëntie krijgen. 


Technische specificaties

Meet- / regelsysteem
Flowbereik (tussenliggende bereiken beschikbaar)min. 0,12…6 mln/min
max. 1…50 ln/min
Nauwkeurigheid (incl. lineariteit) (gebaseerd op actuele kalibratie)±0,5% Rd plus ±0,1% FS
Herhaalbaarheid< 0,2 % RD
Turndown ratio1 : 50 (in digital mode up to 1 : 150)
Max. bedrijfsdruk1000 psig (64 bar)
Settling time (in control, typisch)1 second typical above 5% FS;
option: down to 600 msec
Regel stabiliteit± 0.05% FS (typical for 1 slm N2)
In bedrijfstemperatuur max-10…+70°C (Viton or EPDM valve seat);
0…70°C (NC valve with Kalrez 6375 seat);
0…50°C (NO valve with Kalrez 6375 seat)
Temperatuur gevoeligheidzero: < 0.05% FS/°C; span: < 0.05% Rd/°C
Drukgevoeligheid< 0,1% Rd/bar typical N2;
< 0,01% Rd/bar H2
Lek integriteit, buitenzijde< 2 x 10-11 Pa.m3/s He
Lek door gesloten klep (metaal verzegeld)< 10-5 Pa.m3/s He
Stand gevoeligheidkan in iedere positie gemonteerd worden
Opwarmtijd30 minuten. voor optimale nauwkeurigheid
2 min voor nauwkeurigheid ± 2% FS
Mechanische delen
Materiaal (natte delen)stainless steel 316L or comparable
Procesverbindingen1/4” face seal male
AfdichtingenOuter seals: metal-to-metal (no rings);
Inner seal / valve seat: Kalrez® (FFKM); options: Viton®, EPDM
Gewicht0,7 kg
Ingress-beschermingIP40
Elektrische eigenschappen
Stroomvoorziening+ 15 ... 24 Vdc
PROFIBUS DPadd 53 mA (15 V supply) or 30 mA (24 V supply)
PROFINETadd 77 mA (15 V supply) or 48 mA (24 V supply)
EtherCAT®add 66 mA (15 V supply) or 41 mA (24 V supply)
CANopen® / DeviceNet™add 48 mA (24 V supply)
Analoog signaal0...5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digitale communicatiestandard: RS232;
options: CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus of FLOW-BUS
Elektrische aansluiting
Analoog/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Control valve options
Externe actuatoropties die op de controller moeten worden aangesloten
Ex-proof specificaties
Goedkeuringen / certificaten

Technische specificaties kunnen zonder kennisgeving worden gewijzigd.

Voor technische maattekeningen en aansluitschema's bezoekt u de productpagina op onze website

Downloads

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

Manuals
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select

Hook-up diagrams
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus
Optional Bus and IO Configurations
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen

Dimensional drawing
Dimensional drawing F-201CM



Bronkhorst NEDERLAND

Lunet 10c
3905 NW Veenendaal
Tel. +31 (0)318 55 12 80
[email protected]

Copyright © 2020 Bronkhorst. All rights reserved.     Sitemap     Disclaimer     Privacy note