Bronkhorst

IQ+FLOW IQFD-100C Downported MFM

Microfluidische Massflowmeter voor Gas, Top-Mount Uitvoering

  • Kleine footprint zorgt voor ruimtebesparing
  • Zeer klein intern volume
  • Economische oplossing, lage cost of ownership
  • Analoge of digitale communicatie
  • Toegankelijke top-mount constructie
Vraag offerte aan Downloads Ondersteuning
IQ+FLOWIQFD-100C Downported MFM

MEMS-gebaseerde massflowmeter voor gassen, voor OEM-toepassingen

Bronkhorst® IQ+FLOW® model IQFD-100C massflowmeters (MFM's) zijn geschikt voor nauwkeurige metingen van droge, schone, niet-corrosieve, niet-explosieve gassen. De ultracompacte, top-mount MFM heeft een thermische massflowsensor op basis van een chiptechnologie (MEMS) en is geschikt voor flowbereiken tussen 0,2...10 mln/min en 0,1...5 ln/min N2-equivalent bij bedrijfsdrukken tussen vacuüm en 10 bar(g). De communicatie met de instrumenten kan zowel analoog als digitaal over RS232 of RS485 verlopen.

De ultracompacte IQ+FLOW instrumenten worden vooral aanbevolen voor integratie in analytische en medische apparatuur.


Technische specificaties

Meet- / regelsysteem
Flowbereik (tussenliggende bereiken beschikbaar)min. 0,2…10 mln/min
max. 0,1…5 ln/min
(based on N2)
Nauwkeurigheid (incl. lineariteit) (gebaseerd op actuele kalibratie)< ±1,5% RD + ±0,5% FS
(Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)
Herhaalbaarheidfor flows < 20 mln/min: < ±0.5% FS;
for flows > 20 mln/min: < ±0,5% RD
Turndown ratio1:50 (2…100%)
Bedrijfsdruk0 … 10 bar g
MediaDry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N2, Ar, He, CO2 and H2. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O2, CO, …)
Multi-fluid mogelijkheidstorage of max. 8 calibration curves
Bedrijfstemperatuur5 … 50 °C
Temperatuurgevoeligheidspan: 0,2% RD/°C; zero: 0,01 mln/min/°C
Drukval0,3 psi dif (20 mbard) based on 1 ln/min Air at 0 bar(g)
Lekdichtheid, naar buiten1 x 10-8 mbar∙l/s He
Standgevoeligheidmax. error at 90° off horizontal 0,5 mln/min at 1 bar, typical N2
Mechanische delen
Materiaal (onderdelen die in contact komen met het medium)aluminium, Si, SiOx, epoxy;
option: stainless steel body
Procesaansluitingendownported construction
Afdichtingenstandard: Viton®; other on request
Gewicht0,2 kg
Beschermingsgraad (behuizing)IP40
Elektrische eigenschappen
Readout sample time2 msec
Stroomvoorziening+ 15 … 24 Vdc
Max. stroomverbruik50 mA
Analoog signaal0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digitale communicatieRS232, RS485 (Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)
Elektrische aansluiting
Stroom/Analoog/RS232/RS485RJ45 modular jack
Control valve options
Externe actuatoropties die op de controller moeten worden aangesloten
Ex-proof specificaties
Goedkeuringen / certificaten

Technical specifications

Measurement system
Flow range, based on N2
(intermediate ranges available)
min. 0,2…10 mln/min
max. 0,1…5 ln/min

Accuracy (incl. linearity)

< ±1,5% RD + ±0,5% FS
(Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)
Turndown 1:50 (2...100%)
Multiple fluid capability storage of max. 8 calibration curves
Fluids Dry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N2, Ar, He, CO2 and H2. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O2, CO, …)
Repeatability for flows < 20 mln/min: < ±0.5% FS;
for flows > 20 mln/min: < ±0,5% RD
Operating temperature 5…50°C
Temperature sensitivity span: 0,2% RD/°C; zero: 0,01 mln/min/°C
Leak integrity, outboard 1 x 10-8 mbar∙l/s He
Attitude sensitivity max. error at 90° off horizontal 0,5 mln/min at 1 bar, typical N2
Mechanical parts
Material (wetted parts) aluminium, Si, SiOx, epoxy;
option: stainless steel body
Operating pressure 0...10 bar g
Pressure drop 0,3 psi dif (20 mbard) based on 1 ln/min Air at 0 bar(g)
Process connections downported construction
Seals standard: Viton®; other on request
Weight 0,2 kg
Ingress protection (housing) IP40
Electrical properties
Readout sample time 2 msec
Power supply +15…24 Vdc
Max. power consumption 50 mA
Analog output 0...5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digital communication RS232, RS485 (Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)
Electrical connection
Power/Analog/RS232/RS485 RJ45 modular jack

Technical specifications and dimensions subject to change without notice.
Voor technische maattekeningen en aansluitschema's bezoekt u de productpagina op onze website

Downloads

Brochures
IQ-FLOW Brochure

Manuals
Manual IQ-FLOW
Quick installation guide

Hook-up diagrams
Analog I-O RS232
RS232-RS485
RS232-RS485 Analog I-O

Dimensional drawing
Dimensional drawing IQFD-IQPD 1-channel topmount

Solids 3D
IQFD-100C-200C


Bronkhorst NEDERLAND

Lunet 10c
3905 NW Veenendaal
Tel. +31 (0)318 55 12 80
[email protected]

Copyright © 2020 Bronkhorst. All rights reserved.     Sitemap     Disclaimer     Privacy note