技術規格

流體類型

任何乾淨且乾燥的瓦斯,建議使用過濾器

流量測量原理

Thermal

系列範圍

適用於 0.2 - 500 ln/min

精度

流量 > 最大容量的 50% 時為 ±2% Rd;
較低流量時為 ±(1% Rd + 0.5% FS)

重複性

<0.2% FS 典型值

最大值。壓力 bar(g)

10

操作溫度

0...50°C (32...122°F)

防護等級

IP40

MASS-VIEW 機型

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MV-101
內建顯示器的氣體質量流量計

最小值10...50 毫升n/每分鐘

max.10...200 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-102
內建顯示器的氣體質量流量計

min.20...200 毫升n/每分鐘

max.20...2000 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-104
內建顯示器的氣體質量流量計

min. 0.04...2 ln/每分鐘

max. 0.2...20 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-106
內建顯示器的氣體質量流量計

最小值 0.4...20 ln/每分鐘

max.2...200 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-108
內建顯示器的氣體質量流量計

最小值1...50 ln/每分鐘

max.5...500 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-191-H2
內建顯示器的氫氣流量計

min.20...50 毫升n/每分鐘

max.20...200 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-191-HE
內建顯示螢幕的氦氣流量計

min.20...50 毫升n/每分鐘

max.20...200 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-192-H2
內建顯示器的氫氣流量計

min.50...100 毫升n/每分鐘

max.50...1000 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-194-H2
內建顯示器的氫氣流量計

最小值 0.1...1 ln/每分鐘

max. 0.1...10 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-194-HE
內建顯示螢幕的氦氣流量計

最小值 0.1...1 ln/每分鐘

max. 0.1...10 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-196-H2
內建顯示器的氫氣流量計

最小值 0.2...10 ln/每分鐘

max.1...100 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-196-HE
內建顯示螢幕的氦氣流量計

最小值 0.2...10 ln/每分鐘

max.1...100 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-301
集成顯示器的氣體質量流量調節器

最小值10...50 毫升n/每分鐘

max.10...200 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-302
集成顯示器的氣體質量流量調節器

min.20...200 毫升n/每分鐘

max.20...2000 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-304
集成顯示器的氣體質量流量調節器

min. 0.04...2 ln/每分鐘

max. 0.2...20 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-306
集成顯示器的氣體質量流量調節器

最小值 0.4...20 ln/每分鐘

max.2...200 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-308
集成顯示器的氣體質量流量調節器

最小值1...50 ln/每分鐘

max.5...500 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-391-H2
內建顯示器的氫氣流量計

min.20...50 毫升n/每分鐘

max.20...200 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-391-HE
內建顯示螢幕的氦氣流量計

min.20...50 毫升n/每分鐘

max.20...200 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-392-H2
內建顯示器的氫氣流量計

min.50...100 毫升n/每分鐘

max.50...1000 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-392-HE
整合顯示器的氦氣流量調節器

min.50...200 毫升n/每分鐘

max.50...2000 毫升n/m

10 bar(g)

下載與規格
MV-394-H2
內建顯示器的氫氣流量計

最小值0,1...1 ln/每分鐘

max. 0.1...10 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-394-HE
內建顯示螢幕的氦氣流量計

最小值 0.1...1 ln/每分鐘

max. 0.1...10 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-396-H2
內建顯示器的氫氣流量計

最小值 0.2...10 ln/每分鐘

max.1...100 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-396-HE
整合顯示器的氦氣流量調節器

最小值0,2...10 ln/每分鐘

max.1...100 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-401
用於氣體的質量流量調節器,帶有壓力補償和集成顯示器

最小值10...50 毫升n/每分鐘

max.10...200 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
MV-402
用於氣體的質量流量調節器,帶有壓力補償和集成顯示器

min.20...200 毫升n/每分鐘

max.20...2000 毫升n/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格

下載

手冊

  • PDF

    Manual MASS-VIEW (9.17.051)

  • PDF

    Manual RS232 Interface (9.17.027)

  • PDF

    Quick Installation Guide MASS-VIEW (9.17.054)

證書

  • PDF

    EU Declaration of Conformity MASS-VIEW

  • PDF

    EU Declaration of Conformity RoHS

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