MEMS（微機電系統）技術
MEMS 技術與半導體技術相似，但它應用於感測器和微型機械元件，而非電子晶片。眾所皆知的 MEMS 技術應用包括安全氣囊感應器、噴墨頭、壓力感應器、麥克風、羅盤、加速計、陀螺儀和時基振盪器。舉例來說，智慧型手機包含許多 MEMS 元件，而熱流感應器則廣泛應用於空調系統。
MEMS 晶片由晶圓製成。晶圓是極其平坦的圓盤，由矽片或玻璃製成。典型的晶圓厚度為 0.5 mm，直徑為 6 英寸。MEMS 技術就是在特定區域增加層次和移除層次。所應用的層可以是非常高品質和堅固的材料。氮化矽 (Silicon Nitride) 就是這種材料的一個範例，它是透過低壓化學氣相沉積 (LPCVD) 技術，在 800˚C 左右的溫度下進行
光學平版印刷 (Photo-lithography) 用來定義需要移除的區域。在光刻技術中，會在晶圓表面沉積一層光阻。光阻透過照射其表面而產生化學變化，並在顯影液中選擇性地移除。
科里奧利傳感器的優勢
科里奧利傳感器的優勢
寇里奧利流量計大多用於測量大流量 (>1 公斤/小時)，因為相對較弱的寇里奧利力對於小流量來說相對較難偵測。為了獲得足夠的靈敏度來測量每小時 2 克以下的超低流量，傳感器的尺寸和管壁厚度需要減小到極限，而傳統的不鏽鋼加工是無法做到這一點的。
在此，MEMS 技術開始發揮作用。我們與屯特大學 (University of Twente) 密切合作開發的一種稱為「表面通道技術」的製程，可以製造出 1 微米薄的氮化矽管。即使管壁厚度極薄，材料的選擇也能使這些管子具有機械穩定性。
工作原理，基於 MEMS 的科里奧利傳感器
圖中說明了基於 MEMS 的科里奧利傳感器的工作原理。內建於示範模型中的感測器就是以這項技術為基礎。該示範模型可以測量和控制每小時 0.01 至 2 克的氣體和液體流量。MEMS 技術的另一項優勢是，儀器內部的科里奧利管尺寸極小，其共振頻率在 kHz 範圍內。因此，與傳統的不銹鋼科里奧利儀器相比，其對外界振動的敏感度較低。
表面通道技術 ；
用於製造微科里奧利傳感器晶片的「表面通道技術」也允許使用其他類型的傳感器。例如：壓力感測器、密度感測器、黏度感測器和熱質量流量感測器。
科里奧利流量感測管：通過 Lorentz 驅動使感測管進入共振。寇里奧利力 Fc 是質量流量 Φm 通過管子的結果。
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