即時壓力和溫度補償，優化流量控制

各種外在因素都會影響質量流量控制器的量測準確性和控制穩定性。但壓力和溫度控制中最常見的挑戰是什麼？您又該如何解決這些問題呢？
即時壓力和溫度補償可以是答案。身為 Bronkhorst 的氣體流量技術經理，我知道製程中的效率與產量需要穩定的氣體流量。此氣體流量可透過熱式質量流量控制器來測量與控制。

在這篇部落格中，我會說明您在壓力和溫度控制上可能遇到的挑戰，並分享一些如何使用即時壓力和溫度補償來最佳化流量控制的技巧。

靜壓補償是對緩慢壓力變化的補償，例如來自氣瓶的緩慢減壓。透過將壓力變送器整合至質量流量控制器，再加上內建的轉換演算法，即可即時計算實際的流體特性。對於半熱量測量，密度、黏度、熱導率和熱容量都會用在計算中。在壓力和溫度的影響下，這些特性會發生變化。因此，實際的溫度和壓力會被測量和處理，從而實現精確的流量測量和控制穩定性。

動態壓力補償是對快速壓力變化的補償。當同一供氣管線上流量較高的質量流量控制器改變設定點時會出現這種情況，這種不希望出現的效果也稱為「串話」。當壓力感測器識別到這些快速壓力變化時，閥門控制將相應調整，使流量保持穩定。

板載轉換演算法可將儲存的校正液轉換為 100 種板載氣體之一（多流體多量程功能）。

實際測量的溫度和壓力用於板載轉換模型，以補償製程條件的變化。這會帶來更可靠、更精確的轉換和控制穩定性。

1.首先，由於改良且精確的流量測量與控制，可以達到最佳化且更穩定的製程條件，進而提高製程產率。

2.其次，安裝簡易，因為不需要完全提供/滿足儀器訂購時的製程條件。

3.第三，由於供應線壓力對於儀器的精確度和控制穩定性變得不那麼重要，因此需要較不精確的元件或甚至減少供應線中的元件。例如，這可節省壓力調節器的成本。