直接控制閥門
直接流量控制閥由控制流量的孔口和控制面組成,控制面決定流量可通過的開口大小,從而決定通過閥門的流量。
- 優點:這種控制閥相對快速、便宜,而且只使用很少的功率來控制流量。
- 它的缺點是只能處理有限的壓力和流量。
以電磁閥為例
對於流量控制閥,打開閥門所需克服的力 (F) 取決於孔徑大小 (d) 和閥門上方的壓差 (Δp) , (F ~ Δp * ¼ d2)。當壓差或閥口直徑變大時,直接控制閥將因壓力而無法充分打開,對於 1mm 閥口上的 200 bar 壓差而言,此壓力可達 > 15 N,進而將閥門關閉。
電磁控制閥只能在柱塞上施加約 5N 的力。我們可以使用更強的線圈,提供更大的磁力。但是,質量流量控制器的電源通常有限,而且產生的熱量也會成為問題。導致最大流量有限,與壓力和直徑的平方成正比。
總而言之,由於這些限制,大多數的直接流量控制閥並不適用於高流量,或處理高壓差或絕對壓力。直接流量控制閥可適用於 1mln/min 至約 50ln/min 的低流量。
對於直接控制閥,我們有什麼替代方案?
- 針對更高壓力重新設計直接流量控制閥門
- 使用 2 相閥、間接控制閥
- 使用壓力補償閥,以低壓力達到高流量
選項 1) 高壓直接控制閥
應對更高壓力的最簡單解決方案是重新設計直接控制閥門。由於閥嘴的尺寸有限,它可以用於相對較小的流量(高達 20ln/min)。若要處理較大的壓差,最高可達 200 bar 的壓差 (bard),閥門和質量流量控制器本體必須更加堅固耐用。大多數的閥門都無法處理 200 bar 的壓差;不是密封材料破裂,就是機械零件無法處理 200 bar 壓差時可能產生的突發力量。
閥門的尺寸只比一般閥門稍大,因此整個質量流量控制器也只比一般閥門稍大。另一邊廂,由於在高壓差時閥門會有洩漏,因此低流量通常會受到限制。 ;

間接控制閥
選項 2) 間接控制閥,一種 2 相閥
為了達到更高的壓力和更大的流量(高達 200ln/min),我們必須採取更大的措施來改變質量流量控制器。使用所謂的間接控制閥(圖 1),可以達到更高的流量、更高的絕對壓力和壓差。
間接控制閥(或兩相控制閥)由以下部分組成:
- 直接控制先導閥 (A),性能如前所述,不需要任何額外動力。
- 閥體中的附加閥門;壓力補償部件 (B),以保持先導閥 (A) 上只有幾巴的恆定壓差 (P1-P2)。如此一來,入口和出口壓力均可改變,而不會對閥門的功能造成任何影響。通過壓力補償部分的壓力力可保持閥門關閉。只有當頂閥門打開時,壓力力才會回復到足夠小的值,從而打開閥門並控制流量。
因此,間接控制閥由兩個串聯的閥門 (A+B) 組成,其中壓降和閥嘴大小共同決定所產生的流量。
二相間接控制閥的更多變化 ;
事實上,還有 2 種間接控制閥可供使用:
- 第一種是在間接閥上增加第三相,利用兩相閥的壓力變化來打開更大的閥門,以達到更高的流量,最高可達每分鐘幾千升。在此系統中,先導閥實際上是平行於主要流路。其缺點是,此閥門變得相當龐大且成本高昂,而且需要最小的壓力差來關閉控制主流量的活塞。
- 間接控制閥的另一種變體是先導閥再次與主流路平行,但平行流路僅由單個閥門和固定孔口組成。當先導閥關閉時,閥門內的壓力會上升至入口壓力,而入口壓力會透過薄膜關閉主流路。打開先導閥後,膜上的壓力差便可減少,並可控制流經較大路徑的流量。對於膜閥而言,需要較小的壓力差才能運作,低至僅幾十毫巴。缺點是,當使用大型膜時,系統中的絕對壓力會受到限制,當我們縮小膜的尺寸時,最大流量會受到限制,關閉閥門所需的壓力差又會上升。
這些閥門的缺點在於尺寸和相對較高的成本。此外,需要最小的壓力差來關閉閥門的壓力補償部分。而且,閥孔的尺寸仍然有限,因此要達到200 ln/min,最低入口壓力需要150 bara。要在較低的壓力下獲得這樣的流量,就需要一種完全不同的閥門,如壓力補償閥、波纹管閥。
選項 3) 壓力補償閥
直接控制閥有可能使用較大的孔口並達到較高的流量,但要做到這一點,必須降低閥門中的壓力。這可以使用壓力補償波紋管閥門實現,其中壓力力的有效孔徑已顯著減少(圖 2)。使用波紋管閥門,可以最小的壓差達到每分鐘幾百升的流量。但是,由於設計原因,絕對壓力受到限制,而且閥門比普通直接控制閥門大得多,也昂貴得多;

壓力補償閥
總結
根據您要在質量流量控制器上施加的壓力和所需的出口流量,您可以選擇使用:
- 直接控制高壓控制閥(高達 200 bara 和 20 ln/min),或
- 間接壓力補償閥 (最高可達 700 bara 或 400 bard 及 200 ln/min)。
若要在低壓力下達到高流量,壓力補償閥將是最佳解決方案。
使用哪種控制閥最好?
以下總結了所討論的閥選項,以及其可用的流量和壓力範圍。
閥類型 ; | 流量 (ln/min) ; | 壓力 (abs / delta) ; |
直接控制閥 | 0.0007..50 | 0..1005 / 0..40 |
直接控制高壓閥 | 0.0007..20 | 40..200 / 1..200 |
2 相控制閥 | 0.010..200 | 4..700 / 4..400 |
三相控制閥 | 50..5000 | 2..20 / 1..20 |
壓力補償閥 | 0.1..200 | 0..10 / 0..5 |
薄膜閥 | 5..2000 | 0..10 / 0..10 |
請參閱我們常用的控制閥門,以配合我們的氣體流量控制器、液體流量控制器或電子壓力控制器來調節流量。

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