MOCVD 製程流量控制，確保沉積精度與穩定品質

為了提升 MOCVD 製程的品質，進而確保 LED 的良率，柏朗豪斯特提供 EL-FLOW 金屬密封流量計，能輕鬆整合至 MOCVD 設備，協助精準控制氣體流量。

這些控制器負責調節氫氣流量，對製程穩定性至關重要。流量大小直接影響 LED 元件的沉積速率，因此精準控制不可或缺。

在這個應用中，採用不同流量的 EL-FLOW 質量流量控制器，涵蓋從 20 sccm 到 20 slm 的範圍，皆能精準控制。其金屬密封設計確保可靠且可重複的密封效果，高品質表面處理符合半導體與太陽能製程的嚴苛標準，有效降低洩漏風險，並確保製程穩定。

另外，EL-PRESS 金屬密封壓力控制器也是MOCVD製成的一部分。這些裝置的應用能確保氫氣的壓力穩定，並能快速因應製程條件的變化，協助維持一致的效能並提升製程控制。

柏朗豪斯特在全球設有服務據點，提供校正與維修，確保您的設備無論在哪個國家都能獲得專業支援。我們也能到廠協助，提供最佳化建議與製程改善技巧，讓您更安心、更高效。