{"column":{"component":"Media","content":{"media":{"src":{"mobile":"/media/ag4jc1wc/mocvd-semiconductor-industry.jpg?width=668&height=0&format=webp&v=1dc70b29f2405e0","tablet":"/media/ag4jc1wc/mocvd-semiconductor-industry.jpg?width=1145&height=0&format=webp&v=1dc70b29f2405e0","desktop":"/media/ag4jc1wc/mocvd-semiconductor-industry.jpg?width=1642&height=0&format=webp&v=1dc70b29f2405e0"},"alt":"MOCVD 在半導體市場的應用","type":"image","link":{},"width":668,"height":0},"caption":""}}}
應用規格
使用流量控制器供應氫氣，有助於提升 MOCVD 製程的穩定性，進而改善產品品質。為了達到最佳效果，需要維持穩定的流量條件，並確保流量控制器能快速響應設定的變化。
關鍵優勢
關鍵優勢
01
氫氣流量控制，精準與穩定的製程保障
02
金屬密封流量與壓力控制器，快速反應製程需求
03
從校正到現場支援，全面確保製程可靠性
製程解決方案
為了提升 MOCVD 製程的品質，進而確保 LED 的良率，柏朗豪斯特提供 EL-FLOW 金屬密封流量計，能輕鬆整合至 MOCVD 設備，協助精準控制氣體流量。
這些控制器負責調節氫氣流量，對製程穩定性至關重要。流量大小直接影響 LED 元件的沉積速率，因此精準控制不可或缺。
在這個應用中，採用不同流量的 EL-FLOW 質量流量控制器，涵蓋從 20 sccm 到 20 slm 的範圍，皆能精準控制。其金屬密封設計確保可靠且可重複的密封效果，高品質表面處理符合半導體與太陽能製程的嚴苛標準，有效降低洩漏風險，並確保製程穩定。
另外，EL-PRESS 金屬密封壓力控制器也是MOCVD製成的一部分。這些裝置的應用能確保氫氣的壓力穩定，並能快速因應製程條件的變化，協助維持一致的效能並提升製程控制。
全方位支援服務
柏朗豪斯特在全球設有服務據點，提供校正與維修，確保您的設備無論在哪個國家都能獲得專業支援。我們也能到廠協助，提供最佳化建議與製程改善技巧，讓您更安心、更高效。
「柏朗豪斯特不只提供高品質儀器，還有完善的服務，這正是我們選擇他們的原因。」
精選產品
EL-FLOW Select
實驗室型氣體質量流量計/控制器
適用於 0.014 mln/min - 1670 ln/min
精度 ****
適用於各種應用的最暢銷全能型產品
適用壓力高達 400 bar
