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常見問題

下方 FAQ 整理了常見問題與實務操作說明,可協助你快速釐清產品與應用細節。若仍有其他問題,歡迎直接與我們聯絡討論!

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機械結構與安裝

我的儀器是甚麼接頭規格?

IP 等級和 NEMA 等級是什麼?

Bronkhorst儀器的接液材質(wetted parts)有哪些選擇?

哪一種密封材質最適合我的應用?

我該如何為儀器選擇合適的管路接頭?

儀器安裝方向有限制嗎?

氣體需要多乾淨,才能符合製程要求?

軟體與通訊介面

如何將 FLOW-BUS 現場總線通訊連接至Bronkhorst FlowSuite ?

內建 FLUIDAT 的質量流量計/控制器預載了哪些氣體資料?

校正與維護

如何讀懂柏朗豪斯特校正證書中的數據與常用術語?

流量計/控制器需要多久進行一次校正檢查?

我可以自行維修、清潔和校正儀器嗎?

什麼是「調整」,為什麼在量測中這麼重要?

As-found 與 As-left 校正代表什麼?

所有儀器在出廠前都有經過校正嗎?

流量原理與計算

體積流量與質量流量有什麼不同?

如何計算轉換係數、Kv 值與壓差?

產品功能與認證

P‑800 製程壓力控制器比傳統方案好在哪?

現有的質量流量計(MFM)能否升級成具有控制功能的質量流量控制器(MFC)?

哪些證書和認證適用於我的儀器?

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我的儀器是甚麼接頭規格?

您可以在下表中找到您的流量計或壓力計/控制器所使用的接頭規格:

系列接頭規格
EL-FLOW BaseBSPP RS 接頭規格
EL-FLOW PrestigeBSPP RS 接頭規格
EL-FLOW SelectBSPP RS 接頭規格
LOW-dP-FLOWBSPP RS 接頭規格
EL-PRESSBSPP RS 接頭規格
EX-FLOWBSPP RS 接頭規格
IN-FLOWBSPP RS 接頭規格
IN-PRESSBSPP RS 接頭規格
LIQUI-FLOWBSPP RS 接頭規格
MASS-STREAM D-6300BSPP RS 接頭規格
MASS-STREAM D-6400BSPP ISO 1179-1 接頭規格
MASS-VIEWBSPP ISO 1179-1 接頭規格
FLEXI-FLOWBSPP ISO 1179-1 接頭規格
IQ+FLOW10‑32 UNF 2B 接頭規格
EL-FLOW Metal無接頭 — 焊接或機體的一部分
EL-PRESS Metal無接頭 — 焊接或機體的一部分
ES-FLOW無接頭 — 焊接或機體的一部分
µ-FLOW無接頭 — 焊接或機體的一部分
(mini) CORI-FLOW無接頭 — 焊接或機體的一部分
IN-FLOW/EX-FLOW F-107/117無接頭 — 焊接或機體的一部分
IN-FLOW/EX-FLOW F-106無接頭 — 晶圓級

RP-RS Based Cavity

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IP 等級和 NEMA 等級是什麼?

IP 等級 
IP 等級(Ingress Protection Rating)是由「IP」加上兩個數字,有些型號在後面還會多一個字母,用來表示額外的保護能力。依照國際標準 IEC 60529,這個等級用來判斷設備外殼對外物入侵的防護能力。第一個數字代表防止固體物(像手指、工具、灰塵)進入的等級,第二個數字則表示防水能力。這些資訊通常用來判斷設備能不能撐住現場環境,例如靠近化學槽、濕區或粉塵較多的位置。 

NEMA 等級 
美國國家電氣製造商協會(NEMA)制定的外殼防護等級,也是業界常用來評估設備能不能撐住現場環境的標準。和 IEC 的 IP 等級相比,NEMA 的內容更全面,除了防塵、防水之外,還包含耐腐蝕、密封墊老化、外殼結構等實際會影響設備壽命的條件,讓工程師更容易判斷設備是否適合特定製程環境。 

IP vs NEMA 等級
IP 等級和 NEMA 等級的目的都一樣,都是用來判斷設備在不同環境下能不能撐得住,例如防塵、防水或外部環境帶來的影響。不過兩者的評分方式不同,所以 IP 無法直接換算成 NEMA,NEMA 也不能反向對應成 IP 等級,選用時還是要看實際的製程環境需求。

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Bronkhorst儀器的接液材質(wetted parts)有哪些選擇?

標準機型的接液材質主要是 316 不鏽鋼或同等級材料。MASS-STREAM、FLEXI-FLOW、IQ+FLOW 這幾個系列也有鋁製材質可以選擇。如果你的製程需要更耐腐蝕的材質,我們也能提供 Monel® 或 Hastelloy®。如果需要更多細節資訊,歡迎直接與我們聯絡。 

熱式氣體質量流量計/控制器的標準密封材質是 Viton® (FKM),而熱式液體機型則使用更耐化學的 Kalrez® (FFKM)。mini CORI-FLOW 科氏力質量流量計採用 全金屬密封,沒有橡膠材質,適合高純度或高腐蝕性的應用。至於控制器內部,其密封件依製程需求可以選擇 Viton® (FKM)(出廠標準)、EPDM 或 Kalrez® (FFKM),能因應不同化學品、溫度與壓力條件。 

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哪一種密封材質最適合我的應用?

密封材料的選擇須依據實際工作環境及化學相容性。Bronkhorst 提供包含多種化學品相容性的資料庫,可協助您評估不同材料是否適用。 

如果您有特定製程、化學品或操作條件需要確認,歡迎隨時與我們聯繫。

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我該如何為儀器選擇合適的管路接頭?

一般而言,我們在儀器上採用 BSPP 螺紋(搭配壓縮式或端面密封,如 VCR/VCO)作為標準接頭。 

BSPP(British Standard Pipe Parallel)為平行螺紋接頭,如其名稱所示。 螺紋本身僅用於將兩個零件固定在一起,並不負責密封。真正的密封是由位於螺紋外部的「彈性密封件」所完成。 由於密封件位於螺紋外側,因此不會有螺紋內的碎屑或雜質被帶入氣體流路中的風險。 基於這個原因,我們 不建議 使用依賴 PTFE(Teflon)膠帶密封的 NPT 螺紋接頭。 

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儀器安裝方向有限制嗎?

影片摘要:

  • 當系統壓力高於 10 bar 時,所有氣體流量計/流量控制器皆建議採水平方式安裝,以確保量測準確度與流量控制的穩定性。
  • 在壓力低於 10 bar 的情況下,氣體流量相關儀表可採垂直安裝,但有一項例外:LOW‑dP‑FLOW 系列儀表無論壓力高低,皆必須水平安裝。 
  • 液體流量儀器基本上可以水平或垂直安裝,但實際上還是有一些安裝細節需要注意。建議依照對應的操作手冊進行設定,也可以參考我們的相關電子書:電子書《How to handle low liquid flows》| Bronkhorst
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氣體需要多乾淨,才能符合製程要求?

影片摘要: 

影片摘要:

一般來說,建議盡可能使用乾燥且潔淨的氣體,以確保製程與流量控制的穩定性。不過,不同儀表對污染的敏感度並不相同。柏朗豪斯特的 LOW-dP-FLOW 系列雖然內部流道直徑相對較大,但其量測原理仍仰賴主流道與旁通感測通道之間的穩定分流比例;一旦有污染累積,可能會影響分流一致性,進而造成流量控制不準確。相較之下,MASS-STREAM 系列並未採用旁通設計,所有氣體皆經由主流道通過,當製程中出現污染時,清潔與維護相對更為直覺,也有助於降低對製程的影響。
柏朗豪斯特的液體流量計主要針對極小流量應用設計,因此內部流道相當細小。在這類應用中,若液體中含有微粒或氣泡,容易造成堵塞或量測不穩定,進而影響製程重現性。實務上建議特別注意液體潔淨度與除氣狀況,以避免上述問題發生。

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如何將 FLOW-BUS 現場總線通訊連接至Bronkhorst FlowSuite ?

柏朗豪斯特(Bronkhorst)儀器皆內建微控制器,可在同一個 FLOW-BUS 系統中,與其他已連接的儀器/設備交換參數數值;同時也可透過 RS232 與 PC 進行通訊,用於設定與監控。 
 
FLOW-BUS 為建構於 RS485 之上的線型(Line Topology)序列通訊協定,其通訊概念與 Modbus 類似,適合多台儀器在同一系統中進行穩定的資料交換。所有儀器需依序以「串接(Daisy Chain)」方式連接,並在匯流排的起始端與末端加裝終端電阻,以確保通訊品質並避免訊號反射。 
 
FLOW-BUS 的通訊訊號與 24 Vdc 電源,可透過標準 RJ45 屏蔽 (F)TP 網路線,或 M12 電纜同時提供,使系統佈線更為簡潔,也有助於降低安裝與維護的複雜度。 
 
PC 端則是透過 USB 埠,經由 RS232 連接至第一台設備進行通訊。為確保整個匯流排系統能穩定運作,我們建議在匯流排起始端與末端使用專用的終端連接器。 

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內建 FLUIDAT 的質量流量計/控制器預載了哪些氣體資料?

氣體的密度、黏度、熱導率與熱容量都會隨壓力與溫度改變,而 FLUIDAT On Board 能即時計算這些物性,並用於補償與修正流量量測。 

  • EL-FLOW Prestige 內建完整的 FLUIDAT 氣體資料庫。
  • FLEXI-FLOW Compact 內建 22 種常用氣體的特性資料,包括:
    乙炔(C2H2)、空氣、沼氣(CH3H #1)、氬(Ar)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、環丙烷(C3H6 #1)、氘(D2 #1)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、氦(He)、氫(H2)、氪(Kr)、甲烷(CH4)、氖(Ne)、氮(N2)、氧化亞氮(N2O)、氧(O2)、全氟丙烷(C3F8)、丙烷(C3H8)、丙烯(C3H6 #2)、丙烯+C3H4 #2
  • MASS-STREAM D-6400 內建 36 種氣體,包括:
    空氣(Air)、氨(NH3)、氬(Ar)、二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、氯氣(Cl2)、二甲烷(C2H6O )、氯化氫(HCl)、硫化氫(H2S)、甲硫醇(CH3SH)、氖(Ne)、氮(N2)、氧化亞氮(N2O)、氧(O2)、臭氧(O3)、五硫醇(C5H12S)、矽烷(SiH4)、二氧化硫(SO2)等,以及 16 種氟化合物。 
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如何讀懂柏朗豪斯特校正證書中的數據與常用術語?

點擊下方連結即可開啟範例證書,其中包含各項 校正證書 欄位的詳細說明。 

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流量計/控制器需要多久進行一次校正檢查?

流量計、流量控制器以及其他製程用儀器,其量測準確度會隨著實際製程條件與使用時間而逐漸產生變化。溫度影響、電子元件特性漂移,以及長時間累積的微量污染,都是常見且不可避免的因素,可能進一步影響儀器表現。因此,建議儀器至少定期進行校正檢查,並視實際狀況安排重新校正。那麼,校正檢查的適當週期應該如何評估? 

由於各項應用的製程條件與實際運轉時間不同,校正有效期間可能從數個月到數年不等。柏朗豪斯特的儀器並未設定固定的校正到期日,一般建議每年進行一次校正。然而,實際的重新校正時機仍應依應用條件,以及各公司內部的品質管理規範自行評估與決定。維持儀器在適當校正狀態,有助於提升量測準確度與可靠性,確保製程一致性,並進一步改善生產良率。 

在某些應用情境下,為了避免頻繁送回原廠校正所造成的停機時間與成本,也可先透過現場校正檢查來確認儀器狀態。針對這類需求,柏朗豪斯特提供 FLUICAL 可攜式校正設備,方便工程人員在現場快速進行校正確認。 

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我可以自行維修、清潔和校正儀器嗎?

校正

在現場條件允許的情況下,可透過將流量計的實際量測值與高精度的參考標準進行比對,來確認目前的量測狀態。 

 

維修與清潔

在未造成零件不可逆損壞的情況下,自行維修有機會暫時恢復儀表的基本功能。然而需要特別注意的是,自行拆解或維修可能會影響量測精度,進而對流量控制的穩定性與製程可靠度造成影響。此外,一旦儀表經自行拆解,原廠所執行的校正結果,以及壓力與洩漏測試即視為不再有效。因此,非由柏朗豪斯特認證服務據點進行拆解或維修之儀表,後續將無法適用原廠保固服務。 

一般來說,如果儀表有污染或功能異常,會建議直接送回柏朗豪斯特的認證服務據點處理,由原廠協助維修、清潔與校正,確保量測準確度和流量控制的穩定性。 

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什麼是「調整」,為什麼在量測中這麼重要?

所謂「調整量測訊號」,指的是我們會依據參考設備所量到的數值,去修改量測儀表的設定,用來消除系統性的量測偏差。 

當量測設備的輸出不只需要具備良好的重複性,還必須能反映真實值時,進行調整就特別重要。若不直接調整量測設備,使用者也可以依照校正證書上標示的偏差值,在電腦端進行補償設定,以達到同樣的效果。 

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As-found 與 As-left 校正代表什麼?

As-found calibration(儀器收到時的原始狀態)

As-found calibration 指的是在儀器尚未進行任何維修、調整或重新設定之前,先做的一次校正。這種校正方式通常出現在流量計被送回原廠或服務中心時,用來紀錄 儀器被收到當下的實際狀態,也就是它回來的時候到底是正常還是有偏移。 

 

As-left calibration(調整或校正完成後的狀態)

As-left calibration指的是在儀器完成維修、調整或重新設定之後,所進行的校正。這一步的目的,是用來確認前一步的維修或調整是否成功,使儀器重新回到規格範圍內。 

 

校正狀態:As Found 與 As Left

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所有儀器在出廠前都有經過校正嗎?

柏朗豪斯特產品線中的所有儀器皆於出廠前完成原廠校正,且校正結果可追溯至國家標準。每台儀器出貨時皆隨附(數位)校正證書。 

另外,也可以選擇由通過認證的柏朗豪斯特校正中心執行 ISO/IEC 17025 校正,取代標準的出廠校正。針對客製化或 OEM 產品,校正內容則依專案與客戶的約定進行。 

了解更多 ISO/IEC 17025 calibrations

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體積流量與質量流量有什麼不同?

質量流量(Mass flow)指的是單位時間內實際流過的質量,通常以 g/h、mg/s 等質量單位表示;體積流量(Volume flow)*則是單位時間內流過的體積,多數使用者在實務操作上也習慣以這類單位來思考與設定。兩者最大的差異在於:體積流量會受到溫度與壓力變化影響,而質量流量不會,因此質量流量能更真實反映實際用料,對製程穩定性較有保障。在實際應用中,質量流量常會依使用需求換算成體積流量,但這類換算必須透過氣體密度進行,並且需基於特定的壓力與溫度參考條件。由於全球對標準參考條件的定義並不完全相同,因此換算時所採用的標準條件也可能有所差異。 

  • 當質量流量以特定標示方式表示時n as in mln/min or m3n/h. Subscript n該標示代表一般操作條件(歐洲),意即在將質量流量換算為體積流量時,是採用溫度 0 °C、壓力 1 atm(1013 mbar)下的流體密度作為換算基準。  
  • 另外,也可採用溫度 20 °C、壓力 1 atm(1013 mbar)作為標準參考條件(歐洲)s並透過對應的標示方式加以表示s/min, m3s顯示於體積流量單位中(如 ml/min、m³/h)。此組條件大致對應於海平面下的平均溫度與壓力環境。  

      

需要特別注意: 
上述參考條件之間的差異,因為若在氣體流量應用中混用不同的參考條件(尤其是 0 °C 與 20 °C 的溫度差異),可能會導致高達 7% 的誤差! 

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如何計算轉換係數、Kv 值與壓差?

Bronkhorst 開發了一套獨特的資料庫,內含超過 1800 種流體的流體數據。您可在我們的網站www.fluidat.com 上即時進行線上計算,快速評估轉換係數、Kv 值與壓差等關鍵參數,協助流量計選型與製程設定。

邀請您前往網站免費註冊。完成登入後,您就能使用多種與柏朗豪斯特(Bronkhorst)產品相關的實用計算工具,包括: - 柏朗豪斯特熱式氣體與液體流量計的轉換係數與換算表計算 - 柏朗豪斯特控制閥的 Kv 值與孔徑尺寸計算 - 科氏力流量計與直列式過濾器的壓降計算 - 柏朗豪斯特 CEM 蒸發系統相關的製程計算。 

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P‑800 製程壓力控制器比傳統方案好在哪?

製程壓力控制器相較於一般閥件的優勢是什麼? 

在製程腔體中需要精準控壓,或希望系統壓力穩定可控時,通常會採用電子式(數位)壓力控制器。這類控制器會透過驅動控制閥來提升腔體內的壓力。而在需要釋放壓力的情況下,一般做法是使用 bleed valve,並且會持續將氣體排放到外部環境。 

如果使用的是昂貴或危險的製程氣體,則不建議這樣做。因為在這種情況下通常會再加裝一個搭配控制單元的洩壓閥來進行壓力排放,而這些額外元件會使系統變得複雜。

如果使用的是昂貴或具有危險性的製程氣體,持續排放很明顯不是理想的作法。為了避免這種情況,系統往往還需要再加上一顆額外的洩壓閥以及對應的控制單元來管理壓力釋放。但這些額外的元件會讓整個系統變得更複雜。 

以下整理了 P‑800 製程壓力控制器,相較於使用 bleed valve 的傳統做法,或採用獨立洩壓閥組方案時,所具備的主要優勢:  

使用柏朗豪斯特製程壓力控制器的解決方案

優點: 

  1. 低氣體消耗
  2. 適用各類氣體
  3. 結構精簡
  4. 即插即用

採用向大氣排放的傳統解決方案

缺點

  1. 元件之間的連接需要較大的安裝空間
  2. 不適用於危險性氣體

 

採用獨立式洩壓閥配置的傳統方案

缺點

  1. 各元件的連接需要占用較大的安裝空間
  2. 多個元件需要分開採購、安裝與測試,效率較低,整體成本也更高

 

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現有的質量流量計(MFM)能否升級成具有控制功能的質量流量控制器(MFC)?

質量流量計(MFM)可以升級成具備控制功能的質量流量控制器(MFC),但中間需要做一些額外的硬體與電子配置。柏朗豪斯特的流量計本身就具有控制用的電子架構,例如內建的 PID 控制器,可以用來驅動控制閥並調整開度,讓流量穩定在設定值。要讓 MFM 具備控制功能,需要外加一顆 控制閥(control valve)。通常會用 port connector 這類的方式,把控制閥緊密接在流量計旁,確保反應速度與控制精度。另外,控制閥的線材也必須能接入流量計本體,因此外殼需要支援 valve cable 進線,才能確保控制訊號正確接到內部電路。 

 
注意事項: 

  • 在完成組裝後,必須依照實際應用重新調整控制設定(PID 參數)。 
  • 配線與電源供應必須與流量計及閥門的組合相互匹配,才能確保整體系統在製程中運作穩定可靠。 
  • 將 MFM改成 MFC需要具備流體力學、控制系統以及電子電路方面的深入理解。此類改裝通常由當地的 柏朗豪斯特工程師負責,確保整體控制精度、迴路穩定性與安全性不受到影響。如果討論可行方案的需求,歡迎直接聯絡我們,我們會協助您評估製程需求並提供最適合的解決方式。
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哪些證書和認證適用於我的儀器?

除了每台測量或控制設備都會提供的校正證書外,您在的 Bronkhorst 購買的儀器也符合歐盟 CE 法規。下表中列出的項目為"標準"證書。 

依據不同產品系列,也可以額外支援其他認證選擇。 

請點選下方的產品名稱以查看詳細資訊。 

● = 標準證書 

o = 可選購證書  

certificates-bronkhorst-flow-instruments

Bronkhorst APAC
  • Tel: +65 6970 2105

  • [email protected]

Control Management Technology (CMT)

333 Troy Circle, Suite X

TN 37919 Knoxville

(865) 584-0208

[email protected]

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