Adam 解釋：EL-FLOW Prestige
說明影片
您想瞭解更多關於此系列的來龍去脈嗎？我們的同事 Adam 會在這段影片中告訴您一切。
技術規格
流體類型
氣體
流量測量原理
Thermal
系列範圍
適用於 0.014 mln - 100 ln/min
精度
±0.5% Rd 加 ±0.1% FS (根據 SEMI E56)
重複性
<±0.2% Rd (或 <±0.04% FS，以較大者為準)
最大值。壓力 bar(g)
100
操作溫度
-10...+70°C
防護等級
IP40
EL-FLOW Prestige 機型
高端機型，確保最佳的感測器穩定性和最高的精確度。配備板上氣體轉換模型，包括 100 種獨特、客戶可選氣體的氣體資料庫。
