質量流量控制器

MFC 首先使用內建感測器測量流量，例如thermal測器或Coriolis測器，視應用而定。將測量結果與設定點（即所需流量）進行比較。如果測量的流量出現偏差，MFC 會自動調整內部控制閥門，以維持設定流量；

質量流量控制器可持續監測和調節流量，並進行即時調整，以保持精確控制。這種測量、控制閥門和回饋電子（PID 控制）的組合，可確保氣體和液體應用的穩定性和精確性。可透過電壓、電流或數位訊號進行電子流量調整。 

質量流量控制器可為需要精確、即時控制氣體或液體流量的製程提供可靠的解決方案，提高系統的可靠性和效率。