MEMS（微機電系統）技術
MEMS 技術與半導體技術相似，但它應用於感測器和微型機械元件，而非電子晶片。眾所皆知的 MEMS 技術應用包括安全氣囊感應器、噴墨頭、壓力感應器、麥克風、羅盤、加速計、陀螺儀和時基振盪器。舉例來說，智慧型手機包含許多 MEMS 元件，而熱流感應器則廣泛應用於空調系統。
MEMS 晶片由晶圓製成。晶圓是極其平坦的圓盤，由矽片或玻璃製成。典型的晶圓厚度為 0.5 mm，直徑為 6 英寸。MEMS 技術就是在特定區域增加層次和移除層次。所應用的層可以是非常高品質和堅固的材料。氮化矽 (Silicon Nitride) 就是這種材料的一個範例，它是透過低壓化學氣相沉積 (LPCVD) 技術，在 800˚C 左右的溫度下進行
光學平版印刷 (Photo-lithography) 用來定義需要移除的區域。在光刻技術中，會在晶圓表面沉積一層光阻。光阻透過照射其表面而產生化學變化，並在顯影液中選擇性地移除。
科氏力傳感器的優勢
大多數 MEMS 流量感測器都是基於熱量測量原理。已證實這些感測器能夠測量低至每分鐘幾奈米的液體流量。這些感測器的優點是快速且非常穩定。缺點是需要針對每種特定的液體進行校準。科氏力的流量感測器，即含有振動管的流量感測器，其質量流會受到科氏力的作用，因此不存在此問題。科氏力與質量流量成正比，與溫度、壓力、流動剖面和流體特性無關，因為科氏力流量傳感器測量的是真正的質量流量。
科氏力傳感器的優勢
大多數 MEMS 流量感測器都是基於熱量測量原理。已證實這些感測器能夠測量低至每分鐘幾奈米的液體流量。這些感測器的優點是快速且非常穩定。缺點是需要針對每種特定的液體進行校準。科氏力的流量感測器，即含有振動管的流量感測器，其質量流會受到科氏力的作用，因此不存在此問題。科氏力與質量流量成正比，與溫度、壓力、流動剖面和流體特性無關，因為科氏力流量傳感器測量的是真正的質量流量。
科氏力流量計大多用於測量大流量 (>1 公斤/小時)，因為相對較弱的科氏力對於小流量來說較難偵測。為了獲得足夠的靈敏度來測量每小時 2 克以下的超低流量，傳感器的尺寸和管壁厚度需要減小到極限，而傳統的不鏽鋼加工是無法做到這一點的。
在此，MEMS 技術開始發揮作用。我們與屯特大學 (University of Twente) 密切合作開發的一種稱為「表面通道技術」的製程，可以製造出 1 微米薄的氮化矽管。即使管壁厚度極薄，材料的選擇也能使這些管子具有機械穩定性。
Coriolis flow sensor tube: the tube is brought into resonance by Lorentz actuation. The Coriolis force Fc is a result of the mass flow Φm through the tube.
相關文章
您喜歡這個文章嗎？也許您也會喜歡這個。
