EL-FLOW® Metal Sealed質量流量計/控制器

用於高純氣體供應

Bronkhorst 的金屬密封氣體質量流量計和控制器的特點是其獨特的國際專利金屬對金屬密封結構，具有出色的再密封能力。此外，它們以高表體質量而著稱，因此特別適合滿足半導體和太陽能行業以及其他高純度氣體應用的要求。質量流量計和控制器的底座具有 1/4" 面密封外螺紋 (VCR) 連接。

現今的儀器配備了數字印刷電路板，可提供高精度、出色的溫度穩定性并且快速響應（穩定時間 t98 低至 500 msec）。最新的 EL-FLOW® 設計具有多氣體/多範圍功能，為 (OEM-) 客戶提供最佳的靈活性和過程效率。為了方便客戶，Bronkhorst 提供易於使用的配置軟體。

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Full Scale capacities (based on N₂) and pressure rating

Mass Flow Controller	Mass Flow Meter
PN 64 bar	PN 100 bar
F-201CM \| 0,006 ... 50 l_n/min	F-111CM \| 0,006 ... 50 l_n/min

Resealable metal-to-metal outer seal construction (no rings)
High surface quality wetted parts
Cleanroom assembled
Analog and digital I/O, with optionally integrated interface to CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUS
High accuracy and repeatability
Stable control, even at varying process volumes

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

Manuals
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed)

Hook-up diagrams
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations