熱質式氣體質量流量感測器-直通原理

氣體質量流量率越高，為了保持所選的ΔT（溫度差）所需的能量就越多。實際的質量流量率是通過測量在氣體流經傳感器時維持這個恆定溫度差所需的可變功率來計算的。

這個原理可以追溯到一個多世紀前，當時加拿大物理學家和熱線風速計的發明家 Louis Vessot King 提出了以他的名字命名的金氏定律（King’s Law），該定律描述了熱線由於氣體或液體質量流動而造成的熱損失。

在各種流量測量技術中，基於恆溫風速計（CTA）原理的熱質式質量流量測量被用於氣體和液體。基於CTA原理的質量流量計廣泛涵蓋了幾乎每個工業領域中的量測和控制應用。
 

Bronkhorst 熱質式直通氣體質量流量計

對於氣體稍微含有濕氣的應用，或者允許較低的精度但需要較高的重複性和堅固性的情況下，具有堅固内建式傳感器和直通流道（例如MASS-STREAM或MASS-VIEW裝置）的流量控制器是很好的選擇。這些設備沒有狹窄的管道會被顆粒堵塞，因此它們可以處理大多數氣體。