技術仕様
流体のタイプ
流量測定原理
Thermal
シリーズ範囲
0.16 ～ 20 slm 用
精度
繰り返し性
最大 最大圧力 bar(g)
30
運転温度
0...50°C
侵入保護
IP40
EL-FLOW Classicモデル
EL-FLOW Classicは一般的なガス流量アプリケーションの正確な測定と安定した制御のための最も経済的なソリューションです。
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F-201CL
ガス用熱式マスフローコントローラ
0.16...8 sccm から 0.4...20 slm まで；中間流量レンジあり
0 bar(g)
ダウンロード＆仕様
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証明書
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Statement of compliance EL-FLOW Classic
寸法図
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PDF
Dimensional Drawing F-201CL
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