サーマルマスフローメータ/コントローラ
EL-FLOW Prestige
ガス用ハイエンドマスフローメータ/コントローラ
0.014 mln ～ 100 ln/min 用
精度 *****
約100種類のガスを搭載したオンボード・ガスデータベース
100 barまでの圧力に対応
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MASS-STREAM
産業ガス用インラインマスフローメータ/コントローラ
0.01～10,000 ln/min 用
精度 ***
ガスデータベース搭載
低圧力損失
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FLEXI-FLOW Compact
ガス用マルチパラメータマスフローメータ/コントローラ
0～500ln/minおよび0～16bar用
精度 ****
22種類のガスを搭載したオンボード・ガスデータベース
複数の制御機能
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LIQUI-FLOW
コントローラ出力付き液体用サーマルマスフローメータ
0～1000g/h用
精度
信頼性の高い測定性能
デジタル機能を備えたベーシックなデザイン
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IN-FLOW
ガス用IP65スタイルマスフローメータ/コントローラ
0.014 mln/min ～ 11,000 m3n/h 用
精度 *****
マルチガス／マルチレンジ機能（オプション）
700 bar までの圧力に対応
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熱式質量流量計の動作原理
メーター内部では、小さなヒーターが通過するガスまたは液体の一部を温めます。このヒーターの両側に配置されたセンサーが流れの温度を測定します。気体または液体が移動すると、加熱された表面から熱が奪われ、センサーが検知する温度降下を引き起こします。流量が多ければ多いほど、より多くの熱が吸収され、より大きな温度変化が生じます。
フロー計算
どれだけの熱が失われたかを分析することにより、サーマルマスフローメータは気体や液体の圧力や温度に左右されることなく、マスフロー流量を正確に計算することができます。熱式マスフローコントローラーも同様に作動しますが、流量を自動的に調整する制御弁を備えており、プロセスへの正確な供給を保証します。
可動部のないサーマルマスフローメータとコントローラは、信頼性の高いリアルタイムデータを提供し、プロセス制御、リーク検出、排出ガス監視などの様々なアプリケーションに最適です。高精度、エネルギー効率、多用途性により、要求の厳しい産業環境に適しています。
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